Gebraucht SEMITOOL 280 #101472 zu verkaufen

SEMITOOL 280 Photoresist Equipment ist eine Lithographie-Plattform der nächsten Generation, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bestimmt ist. Dieses System wurde entwickelt, um hochauflösende Bildgebung und ultragenaue Resistentwicklung bereitzustellen, die die Produktion von hochmodernen elektronischen Komponenten unterstützt. 280 verwendet eine Elektronenstrahl-Belichtungseinheit und nicht die herkömmlichen optischen Belichtungssysteme, die üblicherweise für die Resistverarbeitung verwendet werden. Dies ermöglicht eine präzisere Steuerung des Resistmusters und der daraus resultierenden Gerätestruktur mit überlegener Leistung im Vergleich zu optischen Systemen. Darüber hinaus verfügt die Elektronenstrahl-Belichtungsmaschine über einen sehr großen Dynamikbereich, der es ermöglicht, Merkmale unterschiedlicher Größe über das gesamte Substrat abzubilden. Das Elektronenstrahl-Belichtungswerkzeug ermöglicht auch hohe Seitenverhältnisse sowie Subµm-Merkmalsmuster. Dadurch sind die Ausgangsbilder von höchster Qualität und Treue. Das Asset verfügt auch über ein automatisiertes Resist-Entwicklungsmodell, das eine reproduzierbare, genaue Foliendicke und Materialabtragung ermöglicht. Diese Fähigkeit stellt sicher, dass die gewünschten Gerätemerkmale mit jedem Durchgang exakt hergestellt werden.SEMITOOL 280 enthält eine patentierte Spin-on-Resist-Beschichtungstechnologie, die eine schnelle und gleichmäßige Beschichtung des Substrats ermöglicht. Dies ermöglicht eine genaue und wiederholbare Geräteausstattung und Platzierung innerhalb des Substrats. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, mehrere Substrate zu be- und entladen, so dass komplexe Geräte in großem Maßstab hergestellt werden können. Ein weiterer Vorteil des Systems sind die Datenverarbeitungs- und Steuerungsfunktionen von 280. Software ist zur Integration und Steuerung des Gerätes sowie zur Fehlererkennung und -behebung vorgesehen. Diese Software wird verwendet, um den gesamten Prozess von der Bilderfassung über Beschichtung, Resistbelichtung und Entwicklung bis hin zur Platzierung von Merkmalen auf dem Substrat zu verwalten. Diese Software ermöglicht die Anpassung von Belichtungs- und Entwicklungsparametern nach Bedarf, um jeden Schritt des Prozesses zu optimieren. Insgesamt ist SEMITOOL 280 Photoresist Machine ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug, das für die Serienproduktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bestimmt ist. Mit seinem Elektronenstrahl-Belichtungswerkzeug, der automatisierten Resistentwicklung und der Datenverarbeitung bietet 280 eine genaue und wiederholbare Resistverarbeitung mit hervorragenden Ergebnissen im Vergleich zu herkömmlichen optischen Geräten.