Gebraucht SEMITOOL 4300S #293608837 zu verkaufen
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ID: 293608837
Spin Rinse Dryer (SRD)
Chamber, 8"
102 Digital controller
N2 seal non-contact labyrinth
Electro polished bowl
Brushless motor with LC-4 controller
Static eliminator assembly
Resistivity monitor and probe
DI Water recirculation
Bowl heater blankets
N2 Cartridge heater
Single bolt rotor
240 Volt step down transformers
Particle counts < 25 at .3 micron
Single stack cabinet.
SEMITOOL 4300S ist eine High-End-Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche mikroelektronische Fertigungsanwendungen. Es ist ein vollautomatisches Beschichtungs- und Entwicklungssystem, das eine Vielzahl von Wafergrößen und -prozessen bewältigen kann. Das Gerät beinhaltet auch eine automatische Filmdickensteuerung für positive und negative Photoresists. Es ist mit erweiterten Funktionen geladen, um Prozesskontrolle, Werkzeugverfügbarkeit und Erträge zu optimieren. SEMITOOL 4300 S Maschine bietet präzise Kontrolle der Foliendicke auf jeder Substratoberfläche einschließlich Glas, Silizium und Quarz. Sein fortschrittliches optisches Interferometer liefert die absolute Filmdicke auf Waferebene und führt innerhalb von Minuten präzise Dickenmessungen durch. Dieses Tool integriert auch einen umgekehrten Scan-Modus, einen Mehrkanal-Befeuchter und eine faseroptische Messtechnologie, um Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. 4300S kommt mit einer automatischen 18-stufigen 200mm programmierbaren Waferkassette, die dafür sorgt, dass die Wafer in geeigneter Weise beladen, gereinigt und freigelegt werden. Es ist mit einem chemisch beständigen Sprühgerät mit einer patentierten Düsentechnologie ausgestattet, die präzise und gleichmäßige Beschichtungsparameter ermöglicht. Die Anlage umfasst auch ein proprietäres Vierwalzen-Rakel-Modul, um den Kammerdruck und die Durchflussrate genau zu steuern, um eine gleichmäßige Filmdicke und hohe Erträge zu gewährleisten. 4300 S ist auch mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, die einen Hardwaremonitor zur Überwachung von Modellparametern, einen Rezept-Editor zur Anpassung und Änderung von Prozessparametern und einen Produktionsmanager zur Verfolgung von Produktionsverläufen und Statistiken umfasst. Die integrierte automatische Fehlererkennung reduziert die Verschmutzung durch Überwachung der Fotolackschicht und der Substratoberfläche auf für das Auge nicht sichtbare Anomalien. Schließlich kommt SEMITOOL 4300S mit einem ergonomischen Design, das eine einfache Zugänglichkeit und vereinfachte Wartung ermöglicht. Seine Eigenschaften und Funktionalitäten gewährleisten eine effiziente Verarbeitung und zuverlässige Produktion bei gleichzeitigem Schutz vor unbeabsichtigter Kontamination und Minimierung der Kosten. Das automatisierte System liefert nachweislich eine hohe Wiederholbarkeit, eine geringe Kreuzkontamination, eine gute photolithographische Leistung und eine verbesserte Produktivität bei der Montage von mikroelektronischen Produkten.
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