Gebraucht SEMITOOL 4300S #9221068 zu verkaufen

SEMITOOL 4300S ist eine Photolackverarbeitungsanlage zur Entfernung von dünnen Schichten und Halbleitersubstraten und zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs). Es ist eine ideale Plattform für eine kostengünstige, volumenstarke und präzise Produktion. Das System besteht aus einem dreiachsigen Schrittmotor und einer Richtvakuumwafer-Laststation. Der Wafer wird auf einen Träger belastet, der vom Schrittmotor entlang der x-, y- und z-Achse bewegt wird. Die Vakuumpumpe zieht den Wafer auf die Arbeitsstation, dann bewegt der Motor den Wafer durch die Prozessschritte. SEMITOOL 4300 S ist mit einem Präzisionsresistfolienapplikator ausgestattet, der eine programmierbare Drehzahl und UHV-Turbopumpe verwendet. Dadurch wird eine gleichmäßige Abscheidung des Photolackfilms über die Oberfläche des Wafers gewährleistet. Die Präzision der Abscheidung wird durch eine Präzisionsnachdrehzahlregelung weiter erhöht, die das auf den Wafer aufgebrachte Drehmoment optimiert. Zur Überwachung der Abscheidung des Photolackfilms auf dem Substrat wird eine optische Messtechnik eingesetzt. Die Dicke des Wafers wird gemessen und dem Applikator rückgekoppelt, um die Drehzahl des Rotors entsprechend der gewünschten Dicke einzustellen. Die Heizplatte ist verstellbar, wodurch Prozessgrößen wie Ätzzeit und Temperatur eingestellt werden können. Der Rotor verfügt über eine Kühlmaschine, um eine gleichmäßige Temperatur während des Photolackprozesses zu gewährleisten. Das Werkzeug enthält auch ein Abfallfach, um gebrauchte Fotolackfolie zu sammeln. 4300S ist ein vielseitiges Asset, das für eine Vielzahl von Photoresist-Prozessanwendungen verwendet werden kann. Es ist zuverlässig und stabil und ermöglicht eine konsistente Produktion von hochpräzisen ICs. Das Modell bietet auch eine ausgezeichnete Wirtschaftlichkeit und ist somit eine gute Wahl für die Anforderungen der Produktionslinie.