Gebraucht SEMITOOL 440S #9137505 zu verkaufen

SEMITOOL 440S ist eine Photoresist-Ausrüstung für hochgenaue und hochdurchsatzreiche Maskenbearbeitung und kritische Nassätzoperationen in der Halbleiterherstellung. Das System eignet sich am besten für den Einsatz in Situationen, in denen eine kritische Sauberkeit und Präzisionsbearbeitung erforderlich ist, wie z. B. eine ultrafeine Liniendefinition fortschrittlicher Technologien. Das Gerät besteht aus einer Dualcontroller-Plattformarchitektur, die zwei separate Geräte antreibt - den Maskenausrichter und das Nassprozessormodul. Der Maskenausrichter wird verwendet, um die Photomaskenmerkmale während der Verarbeitung genau auf das Substrat auszurichten, während das Nassprozessormodul für den Nassätzprozess verantwortlich ist. Der Maskenausrichter ist aus einer elektrostatischen Backplatte und einem einstellbaren UV-Laser aufgebaut, um die genaue Ausrichtung der Photomaskenmerkmale auf das Substrat zu gewährleisten. Es kann eine breite Palette von Substraten von flachen Platten bis zu dreidimensionalen Oberflächen verarbeiten und verfügt über eine Substratgröße von 10 Zoll. Mit der Backplatte wird der Photolack vor dem Photomasken-Belichtungsprozess ausgehärtet. Das Nassprozessormodul ist für eine Reihe von Nassätzvorgängen verantwortlich, darunter Naßätzen, Oxidätzen, Dampfätzen, Reinigen und Grundieren. Es ist aus einer zweistufigen Quarzprozesskammer aufgebaut und nutzt sowohl chemische als auch physikalische Prozesse, um gewünschte Ätz- und Reinigungsergebnisse zu erzielen. Die Automatisierungs- und Steuerungsfunktionen der Maschine basieren auf der SEMITOOL Command Software Suite, die eine ausgeklügelte Prozess- und Ausrichtungssteuerung bietet. Die Software beinhaltet Funktionen wie Echtzeit-Überwachung von belichteten Komponenten, hochgenaue Ausrichtungssteuerung, regulierbare Lasersteuerung, Echtzeit-Prozessüberwachung und Online-Prozessdiagnose. Das Tool verfügt über Selbstkalibrierungsfunktionen, die eine zuverlässige und wiederholbare Leistung gewährleisten, sowie ein programmierbares Ätzprozessfenster, das maßgeschneiderte Prozessrezepte ermöglicht. Die Anlage umfasst auch umfassende Sicherheitsfunktionen wie Alarme, Türverriegelungen und Not-Aus-Tasten, um sowohl Betreiber als auch Geräte vor gefährlichen Bedingungen zu schützen. Insgesamt ist 440S ein fortschrittliches Photolackmodell, das speziell für hochgenaue und durchsatzstarke Maskenverarbeitungsvorgänge entwickelt wurde. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, ausgeklügelte Prozesssteuerungsfunktionen und Funktionen zur Selbstkalibrierung, die eine zuverlässige und wiederholbare Leistung gewährleisten. Damit eignet es sich perfekt für die Feinstliniendefinition fortschrittlicher Technologien im Hochreinigungs- und Präzisionsbearbeitungsbetrieb.