Gebraucht SEMITOOL 460S #9194050 zu verkaufen

SEMITOOL 460S
Hersteller
SEMITOOL
Modell
460S
ID: 9194050
Wafergröße: 5"
Spin rinse dryer, 5" Controller compatability: PCS-101, PCS-102 DI Water recirculator capable Labyrnith motor seal Motor type: Brushless N2 Heater capable Rotor type: Quick disconnect Static eliminator capable Substrate size: 125 mm Resistivity monitor System configuration: Roll around single bowl.
SEMITOOL 460S Photoresist Equipment ist ein Hightech-Gerät, das es Anwendern ermöglicht, eine breite Palette von Resists oder Materialien auf einem Substrat abzulegen, um eine Schicht mit spezifischen optischen Eigenschaften zu erstellen. 460S ist ein Chargenverarbeitungssystem, das bedeutet, dass mehrere Substrate in die Einheit geladen und in einem einzigen Arbeitsgang verarbeitet werden können. Die Chargengröße ist auf maximal 24 Substrate begrenzt, die Mindestgröße beträgt jedoch eins. SEMITOOL 460S Maschine wurde entwickelt, um eine breite Palette von Resistmaterialien zu akzeptieren, einschließlich photopolymerisierbarer Flüssigkeitsresiste, E-Beam-Resiststoffe und Beschichtungsresiste. Die Flexibilität des Werkzeugs reduziert die Rüstzeit der Maschine und ermöglicht die Verwendung einer Vielzahl von Prozessrezepten, die es den Benutzern ermöglichen, die individuellen Bedürfnisse ihrer Anwendung anzupassen. 460S nutzt fortschrittliche Wärmesteuerungstechnik, um eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten Struktur und ihren Prozessen zu gewährleisten. Die Temperatur wird durch einen Rückkopplungsprozess geregelt, um sicherzustellen, dass die Temperatur während des Ablaufs des Programms genau gehalten wird. Zusätzlich ermöglicht die Rückkopplungsregelung auch eine zeitliche Temperatureinstellung oder -einstellung, wodurch der Anwender seine Prozessparameter weiter verfeinern kann. SEMITOOL 460S verwendet präzise automatisierte Robotik und eine bewegliche Plattform, um Substrate zu positionieren. Die Plattform verfügt über ein 7-Achsen-Design mit einem programmierbaren Positionierer, wodurch die Substrate exakt ausgerichtet werden können. Darüber hinaus ist die Plattform für die Hochgeschwindigkeitspositionierung konzipiert und mit einem Vakuum ausgestattet, um mögliche Kollisionen während des Prozesses zu vermeiden. 460S Modell ist mit einer hochempfindlichen optischen Ausrüstung ausgestattet, die die Dicke der Resistschicht während des Prozesses überprüft. Das System verwendet eine Infraroteinheit, mit der Benutzer die Schichtdicke schnell und genau messen können, wodurch Zeit und Aufwand reduziert werden. SEMITOOL 460S Photoresist Machine ist eine ideale Lösung für Anwender, die Präzisionsbeschichtungen über große Chargen von Substraten benötigen. Dieses Tool bietet eine große Flexibilität und bietet dem Benutzer gleichzeitig die Genauigkeit und Kontrolle, die erforderlich sind, um gewünschte Endergebnisse zu erzielen. 460S ist die beste Lösung für Industrie- und Forschungsanwendungen, die hochpräzise Beschichtungen von Resiststoffen und anderen Materialien erfordern.
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