Gebraucht SEMITOOL 470 D #121593 zu verkaufen

SEMITOOL 470 D
ID: 121593
Wafergröße: 8"
Spin Rinser Dryers, 8" Includes cassette and rotor.
SEMITOOL 470 D ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung von Schutzbeschichtungen auf verschiedenen Substraten. Dieses System verwendet einen speziellen Strahltyp, der als Deep UV bekannt ist, um Material im Nanometermaßstab auf der Oberfläche des Substrats abzubauen. Durch den Abbau dieser Materialien im Nanometermaßstab können Mikrometerschichten aus Photolack mit hoher Präzision auf das Substrat aufgebracht werden. 470 D ist eine vollautomatisierte Einheit, die sehr feine Photolackbeschichtungen erzielen kann. Servoassistenzmechanismen in Verbindung mit SEMITOOL Software sorgen für eine Zehn-Mikron-Auflösung und eine vertikale Verschiebungsgenauigkeit von 2 Mikrometern. SEMITOOL 470 D ist auch mit einem großen Arbeitsbereich ausgestattet, der Substrate über eine Breite von 200 mm beschichten kann. Ein zusätzlicher Vorteil von 470 D ist seine Fähigkeit, die Deckschicht des Photolackmaterials genau zu steuern, was eine gleichmäßige Dicke und perfekte Haftung auf dem Substrat ermöglicht. SEMITOOL 470 D bietet Anwendern zudem eine breite Palette an Nachbearbeitungsmöglichkeiten. Sein eingebauter Dynamic Focus-Kompensationsalgorithmus ermöglicht es Benutzern, die geometrische Form der Photolackschicht genau zu steuern, was zu einer verbesserten Vorentwicklungsqualität führt. Diese Maschine bietet auch einen optimalen einheitlichen Mustersteuerungsalgorithmus, der es Anwendern ermöglicht, den Dynamikbereich ihrer Substratverarbeitungsergebnisse anzupassen. Darüber hinaus geben Feuchtigkeitssensoren Benutzern ein besseres Bild von der Umgebung ihres Substrats, während zusätzliche Polymermodule mit dem Photoresist-Tool von 470 D integrieren können, um die Ablagerungsmerkmale weiter zu steuern. SEMITOOL 470 D zeichnet sich durch einen automatisierten und dennoch hochpräzisen Beschichtungsprozess aus. Diese Anlage schafft einheitliche Beschichtungen mit Mikron-Genauigkeit und dynamischen Nachbearbeitungswerkzeugen, um eine optimale Gleichmäßigkeit zu erreichen. 470 D ist entworfen, um Substrate von fast jeder Größe und Form mit großer Präzision zu beschichten. Dies macht es zu einem idealen Modell für alle, die einschichtige ultradünne Schutzschichten auf ihre Substrate auftragen möchten.
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