Gebraucht SEMITOOL 470F #178414 zu verkaufen

SEMITOOL 470F
Hersteller
SEMITOOL
Modell
470F
ID: 178414
Spin rinse dryer, (SRD), up to 6" Single Spin Rinser Dryer on a roll around cart Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator "F" model upgrade includes class 10 Poly.
SEMITOOL 470F ist eine von SEMITOOL, Inc. Das System ist extrem vielseitig und in der Lage, Wafer aller Größen von 200mm oder 8 Zoll Durchmesser bis 300mm oder 12 Zoll Durchmesser zu verarbeiten. 470F ist eine All-in-One-Einheit, die die Resiststation, Waschstation, Trockenstation, Drehstation und den Mod-Lift umfasst, die Wafer aus der Maschine entfernt und in Kassettenträger legt. Die Resiststation verfügt über fortschrittliche, patentierte Technologie, die eine präzise Steuerung und genaue Überwachung von Parametern wie Temperatur, Druck, Strömung, Drehgeschwindigkeit und Zeit gewährleistet. Die Kammer ist in der Lage, Temperaturen bis zu 150 ° C und Drehgeschwindigkeiten bis zu 600 U/min zu steuern, so dass sie eine Vielzahl von Photoresists aufbringen und bei hohem Durchsatz arbeiten kann. Die Kammer verfügt auch über einen SEMITOOL Ultra-Clean Level 4 Waschweg für hervorragende Fotoresistenzen und widersteht der Rückstandsentfernung. Die Spin-Station verfügt über Drehzahl und Zeitsteuerung, und die Spin-Geschwindigkeit kann von 200 bis 600 U/min eingestellt werden, wodurch es die Möglichkeit gibt, Photoresists mit unterschiedlicher Dicke und Eigenschaften anzuwenden. Darüber hinaus bietet der Mod-Lift eine exakte Waferplatzierung, so dass Wafer schnell und sicher aus dem Werkzeug transportiert werden können. Es ist auch mit einer zusätzlichen Sicherheits-Sperrfunktion ausgestattet, um unbefugten Zugriff zu verhindern. SEMITOOL 470F wurde entwickelt, um einfache und zuverlässige Prozesseinstellungen vom Waferbeladen bis zum Entladen von Wafern zu ermöglichen. Es verfügt auch über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche für Benutzerfreundlichkeit, ein dediziertes Rezept und Datenlogging-Asset und ein Gerätemanagement-Modell, das die Verfolgung der Wartungshistorie ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über eine vollständige Netzwerkfunktion, die den Remote-Zugriff und die Fehlerbehebung ermöglicht. Insgesamt ist 470F ein äußerst vielseitiges und zuverlässiges Photolackverarbeitungssystem, das einfach zu bedienen ist und schnell eine Vielzahl von Wafergrößen und Photoresists aufnehmen kann. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und der intuitiven Benutzeroberfläche ist SEMITOOL 470F die ideale Wahl für die Verarbeitung von Fotoresistfolien, mit der Fähigkeit, eine breite Palette von Wafern mit unterschiedlichen Dicken, Schichten und Ätzprofilen zu verarbeiten.
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