Gebraucht SEMITOOL 470F #9268571 zu verkaufen

Hersteller
SEMITOOL
Modell
470F
ID: 9268571
Spin Rinse Dryer (SRD) Stand alone.
SEMITOOL 470F Photoresist Equipment ist ein hochleistungsfähiges, fortschrittliches Nassverarbeitungssystem, das entwickelt wurde, um die hohen Anforderungen von Halbleiter- und Hybridschaltungsherstellungsprozessen zu erfüllen. Das Gerät ist mit einer speziellen Plattform ausgestattet, die skalierbar und erweiterbar ist und zahlreiche Konfigurationen von Bädern, Modulen und zugehörigen Peripheriegeräten für Anwendungen von Flachbildschirmen bis zur SOI-Wafer-Fertigung ermöglicht. Darüber hinaus bietet die Maschine standardmäßig erweiterte Softwarefunktionen und bietet eine breite Palette von Funktionen zur Prozesssteuerung, Überwachung und Berichterstattung. 470F Photoresist Tool baut auf der zuverlässigen Skalierbarkeit und überlegenen Leistung früherer Modelle auf. Es ist in der Lage, alle gängigen Photolackprozesse wie Schleuderbeschichtung, Sprühbeschichtung, Vorbacken, Belichtung, Nachbacken und Entwicklung sowie komplexe mehrstufige Prozesse zu handhaben. Die Anlage nutzt über 25 einzelne Bäder, um Prozesse abzuschließen, einschließlich Lösungsmittel, Spülen, Vorbacken, Nachbacken, Spülentwickler und Antireflexbeschichtung. Um mehrere Konfigurationen und Rezepte zu unterstützen, verwendet SEMITOOL 470F ein standardisiertes modulares Design, das eine schnelle und einfache Austauschbarkeit von Bädern und Modulen ermöglicht. Das Modell verfügt außerdem über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche zur Steuerung, Speicherung und Überwachung von Rezeptparametern und Prozessergebnissen. Die Touchscreen-Oberfläche zeigt detaillierte Temperatur-, Rühr- und Chemie-Informationen an und ermöglicht die Anpassung aller Parametereinstellungen. Diese intuitive, interaktive Touchscreen-Oberfläche bietet Anwendern schnellen und einfachen Zugriff auf Prozessinformationen in Echtzeit, wodurch optimale Ergebnisse und enge Fertigungstoleranzen gewährleistet und gleichzeitig der Produktionsprozess wertvoller wird. Die leistungsstarke Software ist in 470F eingebettet und bietet eine einfache datengesteuerte Prozessüberwachung und -steuerung. Die Software wurde entwickelt, um Spezifikationen, Alarme, Diagnosen und Berichte für alle Geräteprozesse bereitzustellen. Darüber hinaus bietet das robuste Reporting der Software detaillierte Informationen zu Prozessparametern, Prozessstatus und Prozessverläufen. Diese Informationen können schnell und einfach analysiert werden, um Produktionsprozesse zu optimieren und Zeit und Geld zu sparen. SEMITOOL 470F ist auf eine effiziente und effektive Abwicklung verschiedener Photolackprozesse mit minimaler Interaktion von Technikern zugeschnitten. Das System ist in der Lage, komplexe mehrstufige Prozesse durchzuführen, einschließlich Spin Coating, Pre-Bake, Exposition, Post-Bake und Entwicklung. Die robuste Software bietet Anwendern eine datengesteuerte Prozessüberwachung und -steuerung und gewährleistet gleichzeitig enge Produktionstoleranzen. Schließlich bietet die intuitive Touchscreen-Oberfläche schnellen und einfachen Zugriff auf Prozessinformationen in Echtzeit, sodass Benutzer Produktionsprozesse anpassen und optimieren können.
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