Gebraucht SEMITOOL 470S/L #9099016 zu verkaufen

ID: 9099016
Wafergröße: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL 470S/L Photoresist Equipment war ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben in der Halbleiterindustrie. Es ist eine Resistverarbeitungssystemreihe, die Trocken- und Halbnassverarbeitung verwendet. Das 470S/L ist vielseitig einsetzbar und kann sowohl konventionelle als auch spezielle Waferbearbeitung für eine Vielzahl von Kundenanforderungen liefern. Es wurde für den Einsatz in FuE und Produktionsumgebungen konzipiert. Das Gerät bietet eine Reihe von Funktionen, die Kompatibilität mit den meisten Ein- und Zweikammer-Remixbädern, eine schnelle und einfache Wafer-Handhabung sowie eine vollautomatische Temperatur- und Drehzahlregelung umfassen. Das 470S/L ist eine leistungsstarke Lithographiemaschine mit einer Foliendickenkontrolle von bis zu 1000 nm. Sein Präzisions-Wafer-Haltemechanismus ermöglicht eine gleichmäßige Dispergierung des Resists auf der Waferoberfläche und seine fortschrittliche Kochplattentechnologie ermöglicht eine schnelle, genaue und wiederholbare Wafer-Nivellierung. Die Temperatur der Kochplatte ist bis zu 300 C einstellbar und sorgt für eine präzise Waferausrichtung. Darüber hinaus verfügt das 470S/L über eine Top-Down-Spin-Option für Nassätz- und Spin-Ofen-Funktionen. Das Tool ermöglicht einen hohen Produktivitätsdurchsatz mit einer schnellen Prozesszykluszeit (< 20 Sekunden) und bietet die Möglichkeit, sowohl Kochplatten- als auch Spin-Bake-Automatisierung für schnellere Zeit zu verwenden, um eine gezielte Temperatur zu erreichen. Diese Eigenschaften machen die Anlage zu einer guten Option für serienarme Tests, und viele Kunden fanden heraus, dass ihre schnelle Prozesszeit der Schlüssel für die Entwicklung schneller und genauer Prozesszyklen war. Das Modell ist zudem äußerst zuverlässig, mit geringem Wartungsaufwand und minimalem Ausfallpotenzial. Seine Exzellenz in der Prozesssteuerung und Betriebsmanipulation reduziert auch kostspielige und zeitaufwendige Reparaturen. Das 470S/L verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie einen flüssigen Abfallbehälter und Top-Down-Spin-Sicherheit. Das 470S/L ist ein wertvolles Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterscheiben und kann erhebliche Kosteneinsparungen bieten. Mit seiner Präzisionstechnik und den leistungsstarken Prozesssteuerungsmöglichkeiten sowie der hohen Leistung und dem geringen Wartungsaufwand eignet es sich nicht nur für die Serienproduktion, sondern bietet auch eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Forschung und Entwicklung.
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