Gebraucht SEMITOOL 470S #103617 zu verkaufen
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ID: 103617
Wafergröße: 6"
Single stack SRD's, 6"
Rotors available at an additional cost.
SEMITOOL 470S ist ein fortschrittliches Photolacksystem für die Halbleiterverarbeitung. Es wird bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (IC) und anderen elektronischen Geräten verwendet. Das System verwendet eine thermo-optische Technik, um Photolack auf den Wafer zu beschichten, um das Chiplayout und die Merkmale zu programmieren. Das Verfahren beginnt mit einer Wafer-Montagestufe, gefolgt von photolithographischer Belichtung und Spin-Coating. Während der Belichtung wird eine Maske zwischen dem Wafer und dem Photolack platziert, dann wird Licht über das Modell geleitet. Der Resist wird selektiv in Bereichen belichtet, in denen das Licht scheint, während unbelichteter Resist in Bereichen entfernt wird, in denen das Licht blockiert ist. An die photolithographische Belichtung schließt sich dann ein Beschichtungsschritt an, bei dem der Wafer in die thermoptische Beschichtungskammer SEMITOOL 470 S eingelegt wird. Diese Kammer ermöglicht eine präzise Steuerung des thermischen Profils, der Temperatur und der Gleichmäßigkeit und ermöglicht eine konsistente, wiederholbare Fotolackabscheidung. Die Kammer verfügt über einen Mehrzonen-Heizmechanismus mit einer oder mehreren lüfterunterstützten Optionen für mehr Stabilität. Schließlich wird der Photolack im Härtungsofen von 470S ausgehärtet. Dieser Ofen hat eine erweiterte Präzisionskontrolle, um sicherzustellen, dass der Fotolack richtig ausgehärtet und gehärtet wird. Darüber hinaus kann der Ofen für mehrere Rezepte programmiert werden, mit voreingestellten Temperaturen und Verweilzeiten. Insgesamt ist 470 S ein fortschrittliches Photolacksystem zur Herstellung von engen Linienbreiten und hoher Musterauflösung. Seine Präzision, Wiederholbarkeit und thermische Kontrolle ermöglichen eine zuverlässige Herstellung von IC-Platten und anderen anspruchsvollen elektronischen Geräten.
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