Gebraucht SEMITOOL 470S #178413 zu verkaufen
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ID: 178413
Spin rinse dryer, (SRD)
Single Spin Rinser Dryer on a roll around cart
Capable of processing up to 6" wafers
Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator
"S" model upgrade includes class 10 Poly, quick disconnect rotor and an N2 rear seal
Controller Compatibility: PCS-101, PCS-102
DI Water Recirc Capable: YES
Motor Seal: Labyrinth
Motor Type: Brushless
N2 Heater Capable: YES
Resistivity Monitoring Capable: YES
Rotor Type: Quick Disconnect
Static Eliminator Capable: YES
Substrate size: 150 mm max.
System Configuration: Roll Around Single Bowl.
SEMITOOL 470S ist eine Photolackausrüstung, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen in einer Reinraumumgebung verwendet wird. Dieses System besteht aus einer Reihe unabhängiger Bauelemente, die zusammenarbeiten, um dem Anwender eine hochwertige, präzise Umgebung für die Entwicklung von Halbleiterschaltungen zu bieten. Im Kern verfügt SEMITOOL 470 S über einen hochfrequenten, gepulsten Elektronenstrahlverdampfer, der die feinste Photolackschicht auf das darunter liegende Material abscheidet. Der Verdampfer besteht aus einer hochfrequenten Hochspannungsversorgung und einer großen, symmetrischen Elektronenstrahlkanone. Die von dieser Einheit verwendete co-fokussierte, gerichtete Elektronenstrahl-Oszillationstechnologie sorgt für eine präzise Resistabscheidung und sorgt dafür, dass die Größe der Photoresistlinie konstant bleibt. Der Verdampfer kommt auch mit einer Reihe von einstellbaren Parametern, wie Spaltenposition, Linienbreite und Abscheidetiefe, so dass die genaue Anwendung von Photolack. Die zweite Komponente von 470S ist der Spin Processor, der die präzisen Spinn- und Spinnparameter der Photolackabscheidung steuert. Der Spin-Prozessor ist mit einer fortschrittlichen DSP-Maschine (Digital Signal Processing) ausgestattet, die absolute präzise Prozesssteuerung mit präziser Verfolgung von distaler Drehung und Beschleunigung kombiniert. Der Prozessor ist mit einer Reihe von Spinnprofilen vorprogrammiert, so dass der Benutzer leicht die für seine Widerstandsdicke und Layout-Anforderungen am besten geeignete auswählen kann. 470 S enthält auch einen Multi-Exposure-Prozessor, der eine exakte und konsistente Mehrfachbelichtungsquelle bietet. Dieser Prozessor bietet eine Reihe von Belichtungsanforderungen, von Einzelstreifen bis zu komplexen geradlinigen Mustern, die die Herstellung von Halbleiterschaltungsdesigns mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglichen. Schließlich verfügt SEMITOOL 470S über ein hochauflösendes Inspektionswerkzeug, das sicherstellt, dass die bestmögliche Qualität und Konsistenz des abgeschiedenen Photolacks erreicht wird. Dieses Gerät verfügt über drei hochauflösende Kameras mit einstellbaren Zoomobjektiven, die die Überprüfung mehrerer Bereiche gleichzeitig ermöglichen. Das Inspektionsmodell ist auch an eine leistungsstarke Computerausrüstung angeschlossen, die sicherstellt, dass die von den Kameras erfassten Daten immer genau und aktuell sind. Das Photolacksystem SEMITOOL 470 S ist eine wirklich umfassende Einheit, die dem Anwender eine Komplettlösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Die fortschrittliche Verdampfertechnologie und der präzise Spin-Prozessor sowie der Multi-Exposure-Prozessor und die hochauflösende Inspektionsmaschine liefern zuverlässig das Beste an Qualität, Konsistenz und Benutzerfreundlichkeit.
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