Gebraucht SEMITOOL 470S #293658254 zu verkaufen
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ID: 293658254
Wafergröße: 8"
Spin Rinse Dryer (SRD), 8"
Controller compatibility: PCS-101, PCS-102
DI Water recirc capable
Labyrnith motor seal
Motor type: Brushless
N2 Heater capable
Resistivity monitoring capable
Rotor type: Quick disconnect
Static eliminator capable
Roll around single bowl.
SEMITOOL 470S ist ein Photoresist Equipment zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Es verfügt über Merkmale eines traditionellen Lithographie-Indexers kombiniert mit leistungsstarken Prozesssteuerungen. Dieses System wurde entwickelt, um die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen in einer Vielzahl von Anwendungen zu optimieren. SEMITOOL 470 S besteht aus einer Substrathandhabungskammer, mehreren Prozessmodulen und einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche. Die Substrathandhabungskammer ist für effizientes Be- und Entladen von Wafern ausgelegt. Es verfügt über eine hohe Kapazität mit einem großen Wafer-Staging-Bereich, der ein schnelles Be- und Entladen und ein gleichmäßig verteiltes Vakuum in der gesamten Kammer ermöglicht. Die integrierten Mehrfachprozessmodule von 470S sind für Lithographie- und Resistentwicklungsprozesse konzipiert. Zu den Funktionen des Geräts gehören ein fortschrittlicher Stepper-Controller, eine doppelte Indexierung, eine wiederholbare Overlay-Verfolgung und ein patentierter Pre-Aligner. Der Schrittregler bietet eine unabhängige Steuerung der Linear- und Drehbewegung für höchste Genauigkeit bei Musteranwendungen. Die doppelte Indexiermaschine erleichtert die wiederholbare Ausrichtung des Substrats mit dem Musterspalt und Stufenfeldern, während der Pre-Aligner Wafer in perfekter Registrierung hält. 470 S verfügt auch über widerstandsfähige Entwicklungsfähigkeiten mit einem Düsenbeladewerkzeug und einer Resiststreifenkammer, die beide gegen die äußere Umgebung abgedichtet sind, um eine kontaminationsfreie Verarbeitung zu gewährleisten. Die separate Resist-Layer-Applikationskammer des Geräts kann eine breite Palette von Photoresists aufnehmen, was eine Prozessvariabilität ermöglicht. Die Benutzeroberfläche von SEMITOOL 470S ist speziell auf die Vereinfachung und Beschleunigung der Produktion ausgelegt. Das Modell verwendet eine Touchscreen-Oberfläche mit intuitiven Icons, die Navigations- und Navigationsprozesse erleichtern. Die integrierten Tools sind für eine detaillierte Produktanalyse konzipiert, so dass Benutzer auf detaillierte Daten zu jedem ihrer Prozesse zugreifen können. Insgesamt ist SEMITOOL 470 S eine ideale Photolackausrüstung für eine effiziente Halbleiterwaferbearbeitung. Sein innovatives Design verbindet die Vielseitigkeit von Lithographieprozessen mit präzisen Resistentwicklungsfähigkeiten und einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche.
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