Gebraucht SEMITOOL 470S #9105722 zu verkaufen

SEMITOOL 470S ist eine Photolackeinheit, die zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben während Photolithographie-Prozessen verwendet wird. Das Gerät ist ein voll ausgestattetes Werkzeug, das sowohl Front- als auch Back-End-Anwendungen mit minimalem Eingriff des Bedieners verarbeitet. Das System basiert auf einem Wafer-Handling-Gerät, das über einen hochauflösenden X-Y-Aktuator unterstützt wird, der eine Vielzahl von Wafergrößen und -dicken verarbeiten kann. Es kann auch Wafergrößen mit minimaler Rüstzeit austauschen, mit der Auto Alignment Machine (AAS), die Positionsunterschiede zwischen Substraten kompensiert. SEMITOOL 470 S ist mit einem automatisierten chemischen Lieferwerkzeug ausgestattet, das eine genaue chemische Lieferung an die Waferoberfläche gewährleistet und die Exposition gegenüber Gefahrstoffen einschränkt. Das Asset verfügt über eine hot.cold-Kapazität, die eine warme und kühle Verarbeitung ermöglicht. Es kommt auch mit einer breiten Palette von thermischen Resistverarbeitungsfähigkeiten, einschließlich Vorbacken, thermisches Oxid, Oxidätzen und DRIE. 470S verfügt über ein SPS-Modell, das alle Geräteeinstellungen überwacht und basierend auf dem Programm eine grafische Schnittstelle auf dem Systemcontroller erstellt. Dadurch werden alle Prozessschritte optimiert und wiederholbar ausgeführt. Das Gerät verfügt über eine Multi-Purpose Process Station (MPPS) für Verarbeitungsmöglichkeiten für Substratreinigung, Ätzen, Resist Apply, Post Exposure Bake, Aushärten, Ätzen, Spin Scrub, Aschen, etc. 470 S ist mit einer dicht verschlossenen Prozesskammer und einem bordeigenen Dotiersystem ausgelegt. Dadurch können die Wafer in einer sauerstoff- und wasserfreien Atmosphäre verarbeitet werden, was eine optimale Ätzrate gewährleistet. Das Gerät ist auch mit einer optischen Überwachungsmaschine mit einer CCD-Kamera ausgestattet, so dass der Bediener den Prozess in Echtzeit beobachten kann. Schließlich enthält SEMITOOL 470S eine UV-Quelle für hochwertige photolithographische Prozesse. Das Gerät ist mit einer 13.5sq.cm Standard-Belichtungsmaske ausgestattet und kann auch mit einem 375nm UV-Laser für präzisere Prozesse verwendet werden. Abschließend ist SEMITOOL 470 S ein vielseitiges und zuverlässiges Photolackwerkzeug, das dem Bediener eine Reihe von Prozessoptionen bietet. Das Gerät ist mit einfacher Steuerung und Überwachung ausgelegt und gewährleistet konsistente, wiederholbare Ergebnisse.