Gebraucht SEMITOOL 470S #9209035 zu verkaufen

Hersteller
SEMITOOL
Modell
470S
ID: 9209035
Spin rinse dryer Includes: Rotor, 4"/6" Digital controller: PSC-101.
SEMITOOL 470S ist eine Photolackausrüstung für Halbleiterherstellungsprozesse. Es ist in der Lage, hohe Leistung bei der Nassreinigung, Entwicklung, Ätzung und Photoresist Strippen Prozesse zu erreichen. Mit diesem System können Anwender konsistente Ergebnisse in ihren Nanofabrication-Workflows erzielen, da es wiederholbare Prozesse und eine überlegene Verarbeitungssteuerung bietet. SEMITOOL 470 S ist eine Einkammer-Vertikaleinheit mit einer kurzen offenen Prozesskammer, die verschiedene kleinräumige Ätz-, Abscheidungs-, Spin- und Metrologieprozesse unterstützen kann. Es kann Nassreinigung, Entwicklung, Ätzen und Photoresist-Strippen nutzen, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Die interne Prozesskammer ermöglicht schnelle Prozessänderungen, sodass Anwender schnell und einfach zwischen Prozessen wechseln können. Die Maschine verfügt auch über ein proprietäres EasyClear Digital Vision Sensor Paket, das zum kontrollierten Be- und Entladen des Substrats während des Betriebs verwendet werden kann. Die Load/Unload Station verfügt auch über eingebettete Halbleitertechnologie, die es Benutzern ermöglicht, Substrate ohne manuellen Kontakt zu laden und zu entladen, wodurch das Risiko einer Kontamination vermieden wird. Das Werkzeug ist mit einem automatisierten Monitor ausgestattet, der in der Lage ist, kritische Parameter wie Substrattemperatur, Druck, Feuchtigkeit und Prozesstrends zu erfassen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Photoresist-Modell ständig kontrolliert wird und eine proaktive Nachjustierung der Prozessparameter ermöglicht, um beste Arbeitsbedingungen für eine bestimmte Anwendung zu gewährleisten. 470S Photoresist verfügt zudem über intelligente Energieeinsparungs- und Umweltschutzmaßnahmen wie die energieeffiziente Heizungsanlage und die Inertgasreinigungsbehandlung. Diese Maßnahmen ermöglichen es Benutzern, das Gerät mit minimalen Auswirkungen auf die Umwelt zu verwenden. Darüber hinaus werden alle Komponenten der Maschine mit hohen Qualitätsstandards gebaut, um höchste Reinheitsprozessbedingungen und eine starke langfristige Zuverlässigkeit zu gewährleisten. 470 S Photoresist-Werkzeug kann mit einer breiten Palette von Zubehör konfiguriert werden, um die bestmöglichen Bearbeitungsergebnisse zu erzielen.
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