Gebraucht SEMITOOL 480 #9105787 zu verkaufen

SEMITOOL 480
Hersteller
SEMITOOL
Modell
480
ID: 9105787
Spin Rinse Dryers (SRDs) PSC101 controller.
SEMITOOL 480 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die eine optimale Beschichtungsleistung für eine Vielzahl von Wafer- und Substratprozessen bietet. Das System verfügt über ein einzigartiges Coathead-Design mit zwei Duschköpfen und bietet überlegene Gleichmäßigkeit und Konsistenz für eine Vielzahl von Anwendungen. Die hochpräzise MCA (Multi-Chamber Application) -Einheit liefert die exakte Konzentration von Entwickler, Resist und Ätzmittel, die für jeden Prozessschritt benötigt wird. Darüber hinaus bietet das optimierte Steuermodul PWB (Programmable Wall Bias) eine programmierbare Prozesssteuerung für die Serienproduktion. Die Maschine ist mit modernsten Prozessüberwachungssystemen ausgestattet. Dazu gehört der SEMITOOL 4340 Controller, der intuitive Touchscreen-Menüs und Szenarien zur vollständigen Prozesssteuerung verwendet. Sowie einen Feedback-Regelkreis, der eine einfache Einrichtung und Änderung von Prozessparametern ermöglicht. Das Werkzeug ist außerdem mit einem Höhenmesssensor für höhere Genauigkeit bei kritischen oder temperaturempfindlichen Anwendungen ausgestattet. 480 Asset ist sehr zuverlässig konzipiert, mit einem modularen Aufbau, der einen einfachen Zugriff für routinemäßige Wartung ermöglicht. Es ist in zwei Racks erhältlich, mit sechs Kammeranwendungen von Wafergrößen bis 30 Zoll Durchmesser. Das Modell bietet zudem eine außergewöhnliche Umweltverträglichkeit mit einer breiten Palette prozessbezogener Materialien für jede Anwendung. Das Gerät ist mit einer Reihe von Leistungsschutzfunktionen ausgestattet, einschließlich aktivem und passivem ESD-Schutz. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL 480 über ein modernes optisches Erkennungssystem, das eine schnelle Identifizierung von Substraten und Prozessänderungen ermöglicht. Die Einheit kann Substrattyp und Strukturierungsschritte in weniger als 1 Sekunde erkennen. Die Maschine ist für Reinraum- ISO-5 und US-EPA-Standards konzipiert und kann für RoHS und Nicht-RoHS-Anwendungen spezifiziert werden. 480 ist eine kostengünstige und effiziente Lösung für fortschrittliche Photoresist-Beschichtungsprozesse. Es bietet hervorragende Leistung für hohe Serien- und Prozesskonsistenz und bietet gleichzeitig ein sicheres und umweltfreundliches Werkzeug. Mit seinem robusten Design und der intuitiven Prozesssteuerung sorgt SEMITOOL 480 für maximale Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei heutigen Photolackprozessen.
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