Gebraucht SEMITOOL 480S #9105286 zu verkaufen

SEMITOOL 480S
Hersteller
SEMITOOL
Modell
480S
ID: 9105286
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" Single SRD on stand 102 controller.
SEMITOOL 480S ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Beschichtung und Entwicklung von Prozessen in der Halbleiterbauelementherstellung. Es ist für den Einsatz in Produktionsumgebungen konzipiert, mit einer hohen Toleranz für Umweltverunreinigungen, einschließlich solcher, die durch andere Verfahren wie Plasmaätzen und chemisch-mechanisches Polieren hergestellt werden. Es ist ein vollautomatisches System, das präzise, gleichmäßige Resistbeschichtung und Entwicklung auf Wafern bietet. Es verfügt über ein flaches Tankbad mit einer verstellbaren Wafer Schwimmerhöhe für überlegene Abdeckung über die Waferoberfläche. Ein In-situ-Monitor sorgt für gleichmäßige Resistverteilung und Dicke. Die automatische Nivelliereinheit sorgt für Kantenwulstabdeckung und verhindert Kantenaufbau. Die Maschine verfügt auch über intelligente chemische Lieferung für reduzierte chemische Überschreitungen und Spray Lieferung erhöht die Gleichmäßigkeit. Mit einer fortschrittlichen BordPLC für vollautomatischen, unbeaufsichtigten Betrieb ist der Betrieb einfach und zuverlässig. 480S verwendet modernste Dry-in-Place-Prozesswerkzeuge für schnelle Zykluszeit. Es enthält ein optimiertes Resist-Vortrocknungswerkzeug, das temperaturgesteuerte Luft zur Beschleunigung der Vortrocknung verwendet, einen ultravioletten Energievorhang für maximale Gleichmäßigkeit und verbesserte Resisthaftung sowie eine Schnellpulsresistenz-Belichtungsanlage. SEMITOOL 480S enthält auch eine automatisierte Reinigungsroutine, die die Kammer von chemischen Ablagerungen löscht, was Kosten und Zeit spart. Es enthält auch ein einfach zu navigierendes HMI-Menü für eine effiziente Planung und Überwachung von Prozessen. Schließlich wird das Modell durch ein umfassendes Servicepaket unterstützt, einschließlich Diagnosen, Reparaturen und Support sowie umfassende Schulungen in Installation und Betrieb. Zusammenfassend stellt 480S den Halbleiterbauelementeherstellern eine vielseitige und zuverlässige Photolackausrüstung zur Verfügung. Die Kombination aus automatisierten Funktionen, effizienten Prozesswerkzeugen und robustem Support machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsumgebungen.
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