Gebraucht SEMITOOL 8300 #9155186 zu verkaufen

Hersteller
SEMITOOL
Modell
8300
ID: 9155186
Dual stack spin rinse dryer (102) Controller.
SEMITOOL 8300 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in den Produktionsverfahren der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) und der thermisch-chemischen Dampfabscheidung (TCD) entwickelt wurde. Es ist die neueste Entwicklung in SEMITOOL-entwickelten Systemen zur Erzielung von Finisher-Ergebnissen für Waferoberflächen. Das System verfügt über einen Touchscreen, eine einfache Bedienung und ein Low-Profile-Design, mit dem der Bediener Rezepte und Programme ändern kann, ohne mehrere manuelle Einträge erstellen zu müssen. 8300-Einheit ist eine dreiachsige Plattform, die eine verbesserte Wiederholbarkeit und Genauigkeit für kritische Prozesse bietet. Es verfügt über einen langlebigen berührungslosen Messkopf für genaue und wiederholbare Messungen an der Waferoberfläche. Der Meßkopf befindet sich knapp oberhalb des Substrats, so daß eine minimale Kontaktierung möglich ist, die eine weitere Minimierung der Kammerverschmutzung ermöglicht. Die Maschine kann entweder mit einem beheizten Chemieausgabewerkzeug oder einem kammerintegrierten Manipulationsmittel konfiguriert werden. Das beheizte Liefermodell liefert präzise Chemikalien für optimierte Reinigungsprozesse und kontrollierbare Ätzprozesse. Das kammerintegrierte Manipulationsgerät sorgt für einen präzisen Materialtransfer, liefert konsistente Ergebnisse und minimiert Verschmutzungen. SEMITOOL 8300 verfügt auch über Advanced Process Control (APC), um Anwendern einen automatisierten, intuitiven und vereinfachten Ansatz zur Erzielung optimaler Prozessergebnisse zu bieten. APC verwendet fortschrittliche Algorithmen, um eine präzise Steuerung der CMP- und TCD-Prozesse zu ermöglichen. Darüber hinaus enthält das System einen Satz konfigurierbarer Sensoren, mit denen Benutzer die Reinheit und Haftfestigkeit des Wafers steuern können. Diese Funktionen ermöglichen es Anwendern, Materialentfernung, -reinigung und -abscheidung zu optimieren und reproduzierbare und wiederholbare Prozessergebnisse zu erzielen. 8300 ist auch unglaublich einfach zu pflegen. Das Gerät umfasst eine Reinigungsmaschine, mehrere Prozessbehälter und einen rückseitigen Z-Höhen-Monitor, der es dem Benutzer ermöglicht, die Sauberkeit der Kammerumgebung zu überwachen und aufrechtzuerhalten. Zusätzlich stehen eine Reihe von MTBF-Prozessen (Mittelzeit vor Ausfall) zur Verfügung, die bei der optimierten Steuerung des Tools helfen. Zusammenfassend ist SEMITOOL 8300 ein Photoresist-Asset der nächsten Generation, ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Produktionsprozessen. Es verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerung, langlebigen berührungslosen Messkopf, automatisierten Materialtransfer und einfache Wartung und Zuverlässigkeit. Das Modell garantiert präzise und wiederholbare Prozessergebnisse und sorgt für Kundenzufriedenheit.
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