Gebraucht SEMITOOL 8300S #9160072 zu verkaufen
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ID: 9160072
Spin rinse dryer (SRD)
Capable of process up to 8"
High profile cassettes
Dual stack
Included:
Class 10 poly
Quick disconnect rotor
N2 rear seal.
SEMITOOL 8300S ist eine Photolackausrüstung für Waferbearbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie. Das System bietet präzise Photoresist-Spin-Beschichtung und anschließende Trocknung, während auch genaue messtechnische Messungen von dünneren Filmen. Dies ermöglicht die Herstellung anspruchsvoller optoelektronischer Bauelemente wie Photodetektoren und anderer Bauelemente. Die Gesamteinheit besteht aus mehreren Komponenten: einer temperaturgesteuerten Drehstation, einem vakuumgesteuerten Ofen, einem überlegenen bildgebenden Subsystem und einer ausgeklügelten Software. SEMITOOL 8300 S verwendet einen Zentrifugalantrieb und einen Schleppluftlager/Drehteller für hochauflösendes Spinnen und präzise Geschwindigkeitsregelung. Der Hochleistungs-Vakuumofen sorgt für gleichmäßiges Trocknen und Kristallwachstum und bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit in Spin-Mustern und verbesserte Beschichtungsdicke. Die bildgebende Maschine ermöglicht eine präzise Erkennung von geätzten Merkmalen und ermöglicht die Identifizierung von Ungleichmäßigkeit oder Kontamination. Darüber hinaus verfügt 8300-S über integrierte Software mit automatischen Steuerungs- und Optimierungsalgorithmen. 8300 S bietet eine hohe Präzision, Genauigkeit und Flexibilität in seinen Prozessen. Präzisionsspin-Beschichtung wird mit einer breiten Palette von Beschichtungsgeschwindigkeiten erreicht, die von 20-1800 U/min, signifikante Niveauverbesserung und verbesserte Vibrationssteuerung aufgrund seines Hochgeschwindigkeitskompressors reichen. Darüber hinaus bietet das Tool präzise messtechnische Messungen, die die Einhaltung der Produktspezifikationen gewährleisten und einen hohen Ertrag gewährleisten. Flexibilität ist auch ein zentrales Merkmal von SEMITOOL 8300-S, und dies wird durch seine hoch anpassbare Software ermöglicht. Seine intuitive Benutzeroberfläche vereinfacht die Bedienung und ermöglicht eine einfache Änderung von Prozessen und Rezept-Setup. Fehlererkennungs- und Wiederherstellungsfunktionen sorgen dafür, dass unerwartete Ereignisse schnell und präzise behandelt werden. Zusammenfassend bietet 8300S hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Dank der Schleppluftlagerung/Drehscheibe, der präzisen Drehzahlregelung, der überlegenen Vision-basierten Bildgebung, der integrierten Software und der hochpräzisen Messtechnik ist es eine ideale Wahl für die Produktion von hochvolumigen, hochwertigen optoelektronischen Komponenten.
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