Gebraucht SEMITOOL 840S #84177 zu verkaufen

SEMITOOL 840S
Hersteller
SEMITOOL
Modell
840S
ID: 84177
Wafergröße: 4"
Spin rinse dryer, 4".
SEMITOOL 840S ist eine Photolackausrüstung, die den Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses System wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Präzision in der Fotolackverarbeitung zu bieten und leistungsstarke Ergebnisse bei minimalen Ausfallzeiten zu liefern. 840S verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche für eine einfache Steuerung des Geräts und eine verbesserte Rezeptverwaltung. Die Maschine umfasst eine Polierplattform mit einem integrierten Mikrowäscher und einem mehrachsigen Waferübertragungsarm für wiederholbare Genauigkeit und Wafer-Positionierung. Das Werkzeug ist mit einer Peltier-Kühlanlage ausgestattet, um thermische Drift zu reduzieren und die Modellleistung bei der Verarbeitung bei erhöhten Temperaturen zu erhalten. SEMITOOL 840S Photoresist-Geräte verwenden ein Mehrwellenlängen-Lasersystem, um eine präzise Steuerung des Photoresist-Prozesses zu ermöglichen. Diese Einheit enthält sowohl einen langwelligen als auch einen kurzwelligen Laser mit unabhängigen Steuerungen zur Strukturierung des Photolacks bei unterschiedlichen Wellenlängen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Bosch-Prozessmodul, das hohe Positionsgenauigkeit und Prozessvariablen liefert, um die besten Photoresist-Musterergebnisse zu erzielen. 840S ist mit integrierten Sicherheitsfunktionen ausgelegt, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Dieses Tool ist mit einem Atmosphere Control Asset (ACS) ausgestattet, das eine saubere Luftumgebung innerhalb des Modells aufrechterhält, um zu verhindern, dass sich Staub und Schmutz auf den Wafern sammeln. Zusätzlich verfügt die Photolackausrüstung über ein Strahlungsbehältersystem (RCS), das die Laserbestrahlung überwacht und die Strahlungsausbreitung einschränkt. SEMITOOL 840S verfügt über eine erweiterte Software Command Language (SCI), die die Fernüberwachung und Steuerung der Photolackeinheit erleichtert. Das SCI ermöglicht einen einfachen Zugriff auf die Datenerfassung und -analyse, ein verbessertes Rezept-Management und Alarm-Benachrichtigungsfunktionen. Darüber hinaus ist diese Maschine in der Lage, über 100 vorprogrammierte Rezepte auszuführen. 840S ist ein ausgezeichnetes Photolackwerkzeug für jede Halbleiterherstellungsanlage. Mit seiner hohen Genauigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit können Benutzer sicher sein, dass ihre Wafer die strengsten Industriespezifikationen erfüllen. Die benutzerfreundliche Oberfläche und das breite Spektrum an Sicherheitsfunktionen machen SEMITOOL 840S zu einer sicheren und zuverlässigen Option für jede Fotolackverarbeitung.
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