Gebraucht SEMITOOL 840S #9088736 zu verkaufen

Hersteller
SEMITOOL
Modell
840S
ID: 9088736
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2002
Dual stack spin rinser dryer, 4" (2) PSC 101 Controllers Dual resistivity monitors Rotors not included 120 VAC / 50-60 Hz / 1 Ph 3-Wire / 15 A 2002 vintage.
SEMITOOL 840S Photoresist Equipment ist eine moderne Ausrüstung für die Bereitstellung von ultrapräziser Lithographie-Verarbeitung von Halbleiterscheiben und anderen Substraten entwickelt. Es bietet eine umfangreiche Reihe von Funktionen, die eine leistungsstarke, konsistente Fertigungstechnologie ermöglichen. 840S ist eine automatisierte Beschichtungs- und Entwicklungslösung mit Direktantrieb, die eine breite Palette von Photoresist-Anwendungen unterstützt. Seine überlegene Technik reduziert die lokale Variabilität und ermöglicht die Verarbeitung von Halbleiterscheiben von 3 bis 12 Zoll Durchmesser. Sein intuitives und benutzerfreundliches Design vereinfacht Installation, Bedienung, Nutzung und Wartung, während seine robusten Materialien und Konstruktion Langlebigkeit und Zuverlässigkeit für die kommenden Jahre gewährleisten. SEMITOOL 840S Photoresist System umfasst ein Maskiergerät, einen eingebauten elektrischen Generator, Vakuumregler, nasse Bänke und eine leistungsstarke Software-Suite, um die gesamte Baugruppe zu bedienen. Diese benutzerfreundliche Einheit ermöglicht es Technikern, die Photolackverarbeitungsschritte in einem Bruchteil der für manuelle Prozesse benötigten Zeit zu programmieren oder anzupassen. Die Verarbeitungsschritte umfassen automatische Mustererkennung, Trocken- und Nassschleuderbeschichtung, Vorbacken, Belichten, Nachbacken, Entwickeln, Resist Strippen und Rückstandsentfernung. 840S umfasst auch eine vollständige Reihe von Diagnostik, um die höchste Prozessleistung über die meisten Resistmaterialien zu gewährleisten, einschließlich der Fähigkeit, negative und positive Resiststoffe zu verarbeiten, und die Option der Wahl betweenspin oder Verdampfung Spin Beschichtung. Um eine maximale Waferausbeute zu gewährleisten, wird die sichtbare, ultraviolette und infrarote Bildgebung verwendet, um Defekte oder Kontaminationen zu erkennen. Diese Funktion hilft auch, Probleme auf der Flucht zu erkennen und zu beheben. Darüber hinaus ist SEMITOOL 840S mit Blick auf die Sicherheit konzipiert, bietet bis zu vier integrierte Sicherheitssensoren, die das Vorhandensein eines Wafers erkennen können, sowie verhindern, dass ein Wafer fallen gelassen oder überdreht wird. Schließlich wird die Maschine durch einen mehrstufigen Serviceplan unterstützt, der bei Bedarf technische Unterstützung bietet. 840S Photoresist Tool ist eine zuverlässige und effiziente Lösung für die professionelle Halbleiterherstellung.
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