Gebraucht SEMITOOL 860 #9265751 zu verkaufen

SEMITOOL 860
Hersteller
SEMITOOL
Modell
860
ID: 9265751
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 860 ist eine Photolackausrüstung, die photolithographische Anwendungen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Das System besteht aus vier verschiedenen Komponenten, dem Photomasken-Aligner, Spin-Entwickler, Scrubber und Track. Der Photomasken-Aligner besteht aus einem optischen Werkzeug, das ein Muster auf einen Wafer liest, ausrichtet und projiziert. Es ist in der Lage, Muster mit Präzision bis zu 1um zu lesen, und verfügt über benutzereinstellbare Musterdefinition und Belichtungszeiten. Das Spin-Entwickler-Feature von 860 nutzt Zentrifugalkraft, um Schichten von Resistfolie schnell und genau auf die Waferoberfläche abzuscheiden. Dies erhöht die Prozessgeschwindigkeit und -genauigkeit und schont gleichzeitig Materialien für Anwendungen mit hohem und geringem Volumen. Der Wäscher erleichtert die Entfernung von überschüssigem Photolackmaterial aus dem Wafer nach dem Entwicklungsprozess. Der Schrubber ist mit einer Bürstentrommel, zur weichen Bürstenreinigung und einer Schaufelwalze für eine aggressivere Reinigung ausgestattet. Beide verwenden ein elektrostatisches Feld, um unerwünschtes Material anzuziehen und zu entfernen. Die letzte Komponente der Einheit ist die Spur. Der Track dient der Überwachung und Steuerung des Photolithographie-Prozesses. Es besteht aus einer Reihe von Sensoren und elektronischen Komponenten, die Waferbewegung, Zeit, Temperatur und andere Parameter verfolgen, um die Prozesseffizienz und Genauigkeit zu maximieren. Abschließend ist SEMITOOL 860 eine hocheffiziente und zuverlässige Photolackmaschine, die eine effiziente Photolithographie bei hohen Geschwindigkeiten und präziser Genauigkeit ermöglicht. Es bietet Benutzern eine vollständige Palette von Komponenten, die eine effiziente Produktion und Kosteneinsparungen ermöglichen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor