Gebraucht SEMITOOL 860S #151778 zu verkaufen

SEMITOOL 860S ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die schnelle, genaue und zuverlässige Lithographie für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Dieses System umfasst eine präzise motorisierte Waferstufe, eine Temperaturregelung mit geschlossenem Regelkreis und Funktionen zur Photoresist-Optimierung. 860S verfügt über eine große 600 X 800mm Präzisionsplattenbasis mit großformatigem Aluminium-Kühlkörper, eine Vakuumfuttereinheit und eine präzise motorisierte Waferstufe. Ein Cambridge ESI 4560 Advanced Controller übernimmt die Steuerung, Überwachung und Anzeige von Prozessparametern und Daten. Die dynamische Servosteuerung des UMPC sorgt für stabile Prozesse und hohen Durchsatz. SEMITOOL 860S wurde mit geschlossener Schleifentemperaturregelung entwickelt, die genaue und wiederholbare Prozesstemperaturen liefert. Eine Reihe von Pyrometern und Thermoelementen ermöglichen eine Echtzeit-Überwachung der Wafertemperatur, um die Wiederholbarkeit des Prozesses zu gewährleisten. Ein IRBAPF10 bietet eine optische Rückkopplung an die motorisierte Waferstufe für genaue Wafer-Nivellierung und Ausrichtung. Die fortschrittliche Automatisierung der Maschine bietet weitere Prozessoptimierungen einschließlich automatisierter Vorbeschichtung, Beschichtungsprofile und Resiststreifenprofile. Ein fortgeschrittener Substrat-Handler wird auch für die Handhabung und Sortierung von Wafern verwendet. Das Tool ist auch in der Lage, die Pflege und Wartung zu automatisieren, um eine zuverlässige Leistung für lange Zeiträume zu gewährleisten. 860S ist aufgrund seiner Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit eine gute Wahl für Lithographieanwendungen im Halbleiterherstellungsprozess. Mit seiner Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen und automatisierten Werkzeugen erweist sich SEMITOOL 860S als zuverlässige, genaue und wirtschaftliche Wahl für die Halbleiterresistenzverarbeitung.