Gebraucht SEMITOOL 870 #9139664 zu verkaufen

Die Photoresist-Ausrüstung SEMITOOL 870 ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug zum Ätzen und Strukturieren von Prozessen auf einer Reihe von Substratmaterialien, einschließlich Metallen, Keramik und Silizium. Das System ist mit einer zuverlässigen, wartungsfreien 10-Zoll-temperaturgesteuerten Platte mit Reactive Ion Etch (RIE) -Fähigkeit ausgestattet. 870 verwendet eine Kombination von reaktiven Gasen, um Photolackmuster in den Materialien mit elektrischen und magnetischen Feldern zu ätzen, was eine bemerkenswerte Präzision und Geschwindigkeit im Ätzprozess ermöglicht. Die berührungslose, physikalische Bedampfungseinheit (PVD) ermöglicht eine erhöhte Kontrolle über die Zeitsteuerung und Dichte der Resistmaskenabscheidung. Eine Vielzahl von Substraten kann mit SEMITOOL 870 verarbeitet werden, einschließlich NiFe, SiC, Nb und Ti, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist. 870 kommt auch mit einem integrierten programmierbaren Controller mit 6 programmierbaren Zonen und bis zu 6 benutzerdefinierten Rezepten. Es hat die Fähigkeit, einige Teile der Platte auf die gewünschte Temperatur für eine schnelle Prozeßwiederholbarkeit wieder zu erwärmen. Die Präzision von SEMITOOL 870 wird durch thermomechanisch verbesserte mechanische Dosierventile weiter verbessert, die bei einer minimalen Anzahl von Schuss-zu-Schuss-Variationen eine zuverlässige Verzichtleistung bieten. Darüber hinaus bietet die Maschine Optionen wie automatisierte Maskenübertragung und -verladung, hochkonfigurierbare Rezepte für Etch und Photoresist Plating, kontinuierliche Gasflussüberwachung, Lasermesstechnik und Ablauftanks sowie eine robuste Resiststufe mit bis zu 10 Behältern. Verschiedene Resistmaterialien, einschließlich Metall und Silikat-basierte Resiststoffe können verwendet werden, wodurch die Notwendigkeit, Resiststoffe für Multi-Anwendungsprozesse zu ändern. Darüber hinaus sorgt die schnelle Ausrichtungsfunktion von 870 dafür, dass die Ausrichtzeiten von Substrat zu Substrat minimal bleiben. SEMITOOL 870 ist ein kostengünstiges, zuverlässiges und fortschrittliches Photoresist-Tool, das eine breite Palette von Fertigungsprozessen unterstützt und es zu einer großartigen Lösung für diejenigen macht, die nach einem hochwertigen Ätzgut suchen.