Gebraucht SEMITOOL 870 #9265753 zu verkaufen

SEMITOOL 870 Photoresist Equipment ist eine automatisierte Plattform zur Bearbeitung von Wafern mit Photoresist-Materialien. Photoresist ist eine auf die Oberfläche von Wafern aufgebrachte chemische Beschichtung, die lichtempfindlich ist und zur Übertragung von lithographischen Mustern auf die Oberfläche eines Wafers verwendet werden kann. 870 Photoresist-System bietet hohe Genauigkeit und Produktivität mit einem präzisen Lithographieverfahren. Es verfügt über ein Helium-Spin-Coater, das den Wafer mit einer gleichmäßigen Schicht aus Photoresist-Material beschichtet. Der Spin-Coater ist mit softwarekonfigurierbaren Spin-Geschwindigkeiten und temperaturgesteuerten Rezepturen für einheitliche Prozessergebnisse ausgelegt. Durch die präzise Beschichtung und gleichmäßige Dicke entfällt ein Standardisierungsprozess und der Durchsatz wird erhöht. SEMITOOL 870 verfügt über eine motorisierte XY-Spinnenprozessplatte, die den Wafer während des Spin-Coating-Prozesses exakt ausrichtet und steuert. Zur genauen und wiederholbaren Ausrichtung von Photomasken und Hartmasken über der Waferoberfläche gehört auch ein Photomasken-Aligner mit niedriger Belastung mit einer Auflösung von bis zu 50nm. Das Tool bietet eine programmierbare Temperaturregelung und Prozessüberwachung mit einem Single View Prozessrezept, was die Interaktion des Bedieners vereinfacht. Eine eingebaute Trockenpumpanlage erspart einen separaten Vakuumgenerator, wodurch der manuelle Austausch von Belichtungskassetten und Masken entfällt. Ein Raumfilter ist ebenfalls enthalten, das den Zugang zu Lichtquellentrends vereinfacht und eine gleichbleibend homogene Belichtung des Wafers gewährleistet und gleichzeitig das Schattenschreiten über die Oberfläche minimiert. 870 ist für zuverlässige Prozesssteuerung und Flexibilität in der Produktion ausgelegt. Das Modell beherbergt eine Vielzahl von Wafergrößen und -dicken für jeden Resisttyp und kann sich ohne Rekalibrierung schnell an neue Prozessrezepturen anpassen. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie einfach zu warten ist, und der Austausch von Teilen ist einfach und ordentlich. Und mit mehreren Prozessüberwachungstools konfiguriert, können Bediener schnell überprüfen und überprüfen Prozessbedingungen. SEMITOOL 870 ist ideal für jeden Photoresist-Produktionsprozess, der eine genaue und wiederholbare Produktion benötigt. Mit einem einheitlichen Prozess und hoher Genauigkeit ist 870 bestrebt, die Produktivität und den Fertigungsertrag zu verbessern. Damit ist es ein wertvolles Werkzeug für die Photolackherstellung.