Gebraucht SEMITOOL 870D #84759 zu verkaufen

SEMITOOL 870D ist ein Photolacksystem, das speziell für die Verarbeitung von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Es eignet sich gut für dielektrische Ätz-, Photolack- und Waferreinigungsverfahren und wird in der Halbleiterindustrie für diese Anwendungen eingesetzt. 870D bietet leistungsstarke Lösungen für ein breites Spektrum an Anwendungen und Prozessen, vom aggressiven Ätzen bis zum Präzisionsätzen. SEMITOOL 870D ist mit mehreren Schlüsselmerkmalen ausgestattet, darunter zwei unabhängige Prozessmodule, beheiztes PC-gesteuertes Waferfutter, beheiztes PC-gesteuertes Probenfach, UV-Flut- und Lampeneingang, Inertgaseingang und Prozesssteuerung. 870D verwendet ein beheiztes PC-gesteuertes Waferfutter, um eine gleichmäßige Erwärmung und Ätzmittelverteilung zu gewährleisten und die Partikelverunreinigung zu minimieren. Die beheizte Probenschale sorgt dafür, dass der Photolack gleichmäßig auf den Wafer aufgebracht wird. Dies sorgt für hohe Verriegelungs- und Seitenverhältnisse und reduziert die Fehlerbildung. Die UV-Flut und Lampe werden verwendet, um den Fotolack vor dem Ätzen zu aktivieren. Darüber hinaus hat SEMITOOL 870D einen Inertgaseintrag, um die Sammlung zu verbessern und Kontaminationen zu reduzieren. 870D ist in der Lage, wählbare Ätzgeschwindigkeiten und gleichmäßiges Ätzen vorzusehen, um die Fertigungserträge zu erhöhen. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL 870D über eine geschlossene Prozesssteuerung mit Tools wie Bordenergieüberwachung, Echtzeit-Prozessüberwachung, Nachätzanalyse und On-the-Fly-Korrekturen, um eine genaue, wiederholbare und zuverlässige Verarbeitung zu gewährleisten. Mit diesen Daten kann sichergestellt werden, dass Prozesse innerhalb aller notwendigen Parameter liegen. 870D bietet die neueste Halbleitertechnologie und ist ein hochleistungsfähiges Photolacksystem. Die erweiterten Funktionen und Funktionen von SEMITOOL 870D gewährleisten einen zuverlässigen und effizienten Workflow und können den Prozessdurchsatz und den Ertrag verbessern. Die geschlossene Prozesssteuerung bietet zudem eine leistungsstarke und präzise Lösung zur Gewährleistung der Integrität von Prozessen, was 870D zu einer idealen Lösung für die Halbleiterherstellung macht.