Gebraucht SEMITOOL 870F/L #9266741 zu verkaufen

SEMITOOL 870F/L
ID: 9266741
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 870F/L ist eine Photoresist-Ausrüstung zur präzisen Beschichtung und Entwicklung von Photoresists. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiter und Displays. Das System verfügt über erweiterte Funktionen wie ein zweistufiges Densitometer, eine integrierte Fotolackabbildungseinheit, programmierbare Sprüh- und Verarbeitungsparameter und eine automatisierte Geschwindigkeitsregelung für eine einheitliche Substratabdeckung. Die Maschine kann eine maximale Leistung von 3,5% Gleichmäßigkeit über das Substrat liefern. Das Werkzeug verfügt über zwei Bearbeitungskammern - die vordere Kammer (die Sprühkammer) und die hintere, laminare Strömungskammer (die Bandkammer). In der Sprühkammer wird ein doppelseitiger Sprüharm zur gleichmäßigen Zuführung des Photolackmaterials zu beiden Seiten des Substrats verwendet. Die Tröpfchen werden dann durch zwei getrennte, unabhängig voneinander betriebene Spinner geleitet, die für jede Anwendung fein abgestimmt sind. Dadurch wird eine optimale Gleichmäßigkeit der Photolackschicht über das gesamte Substrat erreicht. Die Bandkammer dient dazu, das Substrat mit einer gleichmäßigen Reinigung der Photolackschicht zu versehen. Diese Kammer verfügt über eine laminare Strömungstechnologie, die eine präzise Entfernung der Photolackschicht gewährleistet. Die Kammer ist mit einer hochpräzisen Düse ausgestattet, die die richtige Ätztiefe für alle Substrate ermöglicht. Auch dieser Prozess ist sehr wiederholbar und sorgt für hochgenaue Ergebnisse. Das 870F/L Photoresist-Asset enthält auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die seine Zuverlässigkeit und Effektivität gewährleisten. Das Modell enthält ein zuverlässiges Densitometer, das eine genaue Messung der Schichtdicke der Photoresistschicht ermöglicht. Darüber hinaus hilft die integrierte Kartierungsausrüstung, Fehler auf der Photolackschicht genau zu erkennen und nachzuvollziehen. Dies trägt dazu bei, höchste Qualität und wiederholbare Produktionsstandards zu gewährleisten. SEMITOOL 870F/L Photoresist-System ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Gerät, das eine effiziente Lösung für die Photoresist-Verarbeitung bietet und ideal für eine Reihe von Anwendungen ist. Die Kombination von Merkmalen, die das Gerät enthält, ermöglicht es, eine gleichmäßige Schicht aus Photolackmaterial, ein präzises Reinigungsverfahren und eine genaue Messung der Schichtdicke zu liefern. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess präzise und konsistent bleibt.
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