Gebraucht SEMITOOL 870F #178373 zu verkaufen
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ID: 178373
Spin Rinse Dryer (SRD), up to 6"
Double stack on a roll around cart
Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator
"F" model has the class 10 poly, brush motors and the P-328 controllers.
SEMITOOL 870F ist eine vollautomatisierte Hochleistungs-Photoresist-Entwicklungs- und -Streifenausrüstung, die die Genauigkeit und Effizienz der Halbleiterwaferbearbeitung erhöht. Dieses System bietet eine erweiterte und zuverlässige Plattform für fortschrittliche Photolackentwicklung und Reinraumintegration. 870F wurde mit einer hohen Durchsatzkapazität konzipiert und erreicht bis zu 800 Läufe pro Stunde. Mit einer Rippelfördereinheit, die Substrate bis zu einer Größe von 200 mm handhaben kann, ermöglicht diese Fotolackmaschine eine effiziente, gleichzeitige Verarbeitung auf mehreren Modulen. Ergänzt mit einer flexiblen Kammerkonfiguration bietet es die Möglichkeit, eine Vielzahl von Prozesschemien anzuwenden und enthält einen wartungsfreien statischen Neutralisierungsfilter, der die Kontamination innerhalb der Kammer reduziert. Auch dieses Werkzeug zeichnet sich durch ein sehr ergonomisches Design aus. Es führt eine Vielzahl von empfindlichen Operationen durch und ist mit einem Lichtvorhang ausgestattet, um Menschen vor gefährlicher optischer Strahlung zu schützen. Durch sein vielseitiges Design lässt sich SEMITOOL 870F einfach in andere SEMITOOL Prozessmodule für eine umfassende Engineering-Lösung integrieren. Darüber hinaus bietet 870F mehrere Sicherheitsfunktionen, wodurch Ausfallzeiten und Unterbrechungen während der Produktion reduziert werden. Es ist in der Lage, bis zu 4.000 Rezepte zu speichern und bietet optimale Prozessparameter, die höchste Qualitätserträge gewährleisten. Mit einer leistungsstarken und intuitiven Software können Rezepte einfach recherchiert, modifiziert und gespeichert werden. Insgesamt ermöglicht SEMITOOL 870F Photoresist Asset fortschrittliche Entwicklung und Streifen von Substraten in einer Vielzahl von Anwendungen. Seine vielfältigen integrierten Technologien vereinfachen die Integration und den Betrieb und bieten gleichzeitig hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit.
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