Gebraucht SEMITOOL 870F #9268556 zu verkaufen

Hersteller
SEMITOOL
Modell
870F
ID: 9268556
Spin Rinse Dryer (SRD) Dual stack With upgraded THORNTON controller.
SEMITOOL 870F ist eine Photolackausrüstung zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben in einer chemischen Umgebung. Es ist mit einer fortschrittlichen, weiter verbesserten Version der ultralithographischen NanoFlex™-Technologie ausgestattet. 870F ist eine vollautomatische, präzise Lösung zur Strukturierung von Halbleitermaterialien. Es bietet ausgezeichnete Musterqualität und saubere Zonengleichförmigkeit durch ein integriertes Prozesstemperaturkontrollsystem. Mit der Fähigkeit, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm zu verarbeiten, ermöglicht es eine schnelle und genaue Strukturierung des Substrats von 2um bis 50um. SEMITOOL 870F bietet ein integriertes, kostengünstiges Pre-Aligner-Modul. Diese Einheit überwacht die Waferposition und die Bühnenausrichtung im Pre-Aligner, um eine schnelle und präzise Substratstrukturierung zu gewährleisten. Es ermöglicht auch schnelle Belastungen und Entladungen des Substrats aus der Belichtungskammer. 870F Photoresist-Maschine verwendet zwei Lichtquellen für Belichtungsprozesse. Der Cadax VCP 30 ist mit 3kW und 6kW Xenon Lampen ausgestattet, die dem Werkzeug Flexibilität im Belichtungsprozess ermöglichen. Dadurch kann der Kunde die Belichtungszeit für die anspruchsvollsten Prozesse auf dem Halbleitermarkt anpassen. Die in SEMITOOL NanoFlex™ verwendete 870F Technologie ermöglicht eine präzise DUV-Lichtmusterung und liefert die feinen Linienbreitenergebnisse, die für fortgeschrittene Halbleiterprozesse benötigt werden. Es verfügt über eine UV-Quelle mit breitem Wellenlängenbereich und die Laserbeleuchtung, die eine Lichtmusterung ohne unnötige Belichtung mit Außenlicht ermöglicht. 870F ist für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 10 konzipiert, entsprechend den Reinraumbewertungsstandards. Es verfügt über eine innovative Zugangstafel für die hintere Öffnung und besteht aus Epoxid und Edelstahl sowie anderen korrosionsbeständigen Komponenten. Es enthält einen Schutzabzugskanal und entspricht den EPA- und OSHA-Emissionsnormen. SEMITOOL 870F ist ein fortschrittliches, robustes Photolackmodell, das speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es bietet Kunden eine zuverlässige, hochwertige Substratmusterausrüstung mit einer schnellen Durchlaufzeit für schnelle und effiziente Ergebnisse.
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