Gebraucht SEMITOOL 870F #9268564 zu verkaufen

SEMITOOL 870F ist eine Photoresist-Ausrüstung, die verwendet wird, um Schichten von lichtempfindlichen Materialien auf einer Substratoberfläche zu strukturieren. Es ist speziell auf die Herstellung von Halbleiterbauelementen und -bauelementen zugeschnitten. Dieses System kann verwendet werden, um verschiedene Arten von Mustern wie Kontaktöffnungen, Gateelektrodenöffnungen, Vias, Metallleitungen und andere zu erstellen. 870F ist mit einer digitalen Abbildungseinheit ausgestattet, um Muster auf den Substraten genau und präzise zu rendern. Die Maschine integriert eine hochauflösende Digitalkamera, eine Hochvergrößerungsoptik und einen Zoommechanismus für eine extrem präzise Strukturierung. Die Kamera kann für eine Reihe von Auflösungen von 0,1 Mikron bis 0,2 Mikron eingestellt werden und x, y und z-Achse Bewegungsfunktionen bieten unbegrenzte Genauigkeit. SEMITOOL 870F nutzt eine Abtaststufe, um die Belichtungsfläche mit X-, Y- und Z-Achsen-Bewegungsfähigkeiten präzise zu steuern. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Musterprozesses, wodurch sichergestellt ist, dass das gewünschte Muster präzise und konsistent gebildet wird. Das SCS-211C Belichtungswerkzeug integriert ein vakuum-/druckbasiertes Schiebefutter zur automatischen Substratspannung und ein hochpräzises modulares Differentialantriebsmittel mit einer maximalen Genauigkeit von 5 nm für präzise Substratbewegung. 870F verfügt auch über modulare Verarbeitungskammern, die eine hohe Flexibilität für verschiedene Beschichtungs- und Verarbeitungsbedürfnisse bieten. Sie weist beispielsweise eine in situ Spin-Coating/Resist-Beschichtungskammer auf, mit der strukturierte Materialien auf das Substrat aufgebracht werden. Die Kammer verfügt über einen integrierten Resist-Spin-Arm, ein Thermoelement, ein Substratfutter auf Vakuum-/Druckbasis und ein voreingestelltes Radialspinner-Antriebsmodell mit automatischer Geschwindigkeitsregelung. SEMITOOL 870F ist eine effiziente Photoresist-Ausrüstung, die kostengünstige Lösungen für komplexe Halbleiterbauelement-Herstellungs- und Strukturierungsprozesse bietet. Seine modulare Architektur bietet Flexibilität für verschiedene Prozessschritte und sein integriertes digitales Bildgebungssystem ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung komplizierter Strukturen. Darüber hinaus bieten seine Automatisierungsfunktionen und In-situ-Kammersysteme eine konsistente Prozesskontrolle, die maximale Ausbeute und Leistung von Geräten gewährleistet.