Gebraucht SEMITOOL 870S #293830204 zu verkaufen

SEMITOOL 870S Photoresist Equipment ist eine fortschrittliche, kostengünstige Plattform für die automatisierte Verarbeitung von Resists. Mit einer modularen Architektur ist das SEMITOOL 870 S-System in der Lage, bis zu acht 300mm-Wafer und mehrere Chemikalien zu handhaben und bietet Prozessoptionen wie Spin-on-Beschichtung, Trocknung, Weichbacken, Kontakt, Exposition und Entwicklungsmöglichkeiten. Dies ermöglicht die gleichzeitige Beschichtung von zwei oder mehr Chemikalien oder Verfahren, erhöht den Durchsatz und minimiert Resistabfälle. 870S Einheit kann Prozessrezepte für verschiedene Anwendungen und Technologien konfigurieren. Seine grafische Benutzeroberfläche und Datenerfassung aus jedem Prozessschritt ermöglichen eine enge Überwachung aller Maschinenkomponenten und Alarme, die eine einfache Alarmverwaltung und Fehlerbehebung unterstützen. 870 S Werkzeug wird durch eine breite Palette von Zubehör unterstützt, so dass eine flexible und abwechslungsreiche Verarbeitung für Photolithographie-Prozesse. Dazu gehören Ladeschlösser, 4-Flaschen, 6-Flaschen und 8-Flaschen-Suiten sowie Abbildungs- und Inspektionsbeleuchtungssysteme. Diese modulare Konstruktion ermöglicht es Anwendern, die Fähigkeiten oder Prozesse basierend auf ihren individuellen Anforderungen zu erweitern oder zu reduzieren. Die Anlage wurde entwickelt, um die Verarbeitungszeiten zu verkürzen und das Risiko von Kontaminationen zu minimieren und gleichzeitig eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit mit reduzierter Coater-Dispense und einer besseren Wafer-Beladung zu gewährleisten. Die tatsächlichen Spende- und Spin-on-Geschwindigkeiten können mit intuitiven Prozessprogrammanweisungen und dedizierten Ausgabesoftware-Optionen angepasst werden. SEMITOOL 870S bietet auch eine überlegene Planarisierung der Resistfolie aufgrund ihres mechanischen Designs, der präzisen Drehzahlregelung und der hervorragenden Wiederholbarkeit flüssiger Prozessparameter. Die hochpräzise Werkzeugbefestigungstechnologie des Modells SEMITOOL 870 S ermöglicht eine präzise Waferbeladung und Indexierung in der Substrattransportausrüstung, wodurch sich Teile präzise auf dem Wafer befinden. Abschließend ist 870S Photoresist System eine ideale Wahl für eine breite Palette von photolithographischen Anwendungen. Mit seiner robusten, zuverlässigen und modularen Architektur bietet 870 S umfassende Prozessfähigkeit, Flexibilität und kostengünstige Verarbeitung.