Gebraucht SEMITOOL 921R-A1A #9384495 zu verkaufen

ID: 9384495
Wafergröße: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6" Double deck.
SEMITOOL 921R-A1A ist eine präzise Photoresist-Ausrüstung, die den Anforderungen der anspruchsvollsten Produktionslinien gerecht wird. Dieses System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Komponenten und Substraten zu verarbeiten, einschließlich Halbleiterscheiben, MEMS/NEMS-Bauelementstrukturen, LED-Chips und anderen Komponenten. Die Einheit ist in der Lage, gleichmäßige Ergebnisse auf einem breiten Spektrum von Substraten unabhängig von ihrer Größe, Form oder Materialeigenschaften zu erzielen. Die Maschine verfügt über ein flexibles Prozesskammerdesign und eine Reihe programmierbarer Parameter zur Optimierung von Resistbeschichtungsrezepten. Das Werkzeug enthält auch einen Maskenausrichter, um optimale Überlappungen zwischen Schichten und Genauigkeit in der Geräteschaltung zu gewährleisten. 921R-A1A ist auch mit einem automatischen abstimmbaren optischen Bandbreitenscanner für eine Vielzahl von Resist-Anwendungen ausgestattet. Die erweiterten Bildverarbeitungsfunktionen von SEMITOOL 921R-A1A ermöglichen die Analyse von Bildern und eine verbesserte Prozesssteuerung. Spezielle Algorithmen werden verwendet, um die Leistung jedes Resist Coat Rezept zu überwachen und vorherzusagen, um sicherzustellen, dass Produkte von höchster Qualität hergestellt werden. Die Anlage ist in der Lage, eine strukturierte Resist-Beschichtung mit einer Auflösung von bis zu 4 Mikrometern zu erzeugen (für eine feinere Mikron-Auflösung können zusätzliche Geräte an das Modell angeschlossen werden). Darüber hinaus bietet die Ausrüstung eine Reihe von Funktionen, die chemische Abfälle minimieren und die Umweltbelastung reduzieren sollen. Schließlich ist das System in der Lage, mehrere Rezepte zu speichern, so dass Benutzer schnell Rezepte zurückrufen und innerhalb enger Produktionspläne bleiben. Insgesamt ist 921R-A1A eine Präzisions-Photoresist-Einheit, die den Anforderungen der anspruchsvollsten Produktionsabläufe gerecht wird. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und sein flexibles Prozesskammerdesign machen es zu einer idealen Lösung für viele industrielle Anwendungen.
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