Gebraucht SEMITOOL ACMS-RTA #9267100 zu verkaufen

ID: 9267100
Weinlese: 2011
System 2011 vintage.
SEMITOOL ACMS-RTA ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Leistung bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente zu verbessern. Es verfügt über eine Configuration Rework Station (CRS) und eine resistive Thermal Analysis (RTA) Einheit. Mit dem CRS kann das System Parameter wie Mustergröße, über die Erstellung usw. genau und schnell anpassen. Die Einheit bietet auch ein hervorragendes Mittel zur Erzeugung von Feinlinienmustern. Die RTA-Einheit von ACMS-RTA verwendet einen fensterlosen kurzwelligen Infrarot (SWIR) -Emitter, um die Photolackprozesse wie Backen, Entwickeln, Erweichen und Härten zu erwärmen. Dies ermöglicht das Aufbringen dünner, gleichmäßiger Resistschichten, die kritische Schritte im Herstellungsprozess reduzieren. Außerdem entfällt die Notwendigkeit eines Diffusionsofens, der häufig für Photoresistprozesse verwendet wird. SEMITOOL ACMS-RTA bietet eine hervorragende Kontrolle über Temperatur, Heizgeschwindigkeit und die Konzentration des Photolacks. Dadurch wird sichergestellt, dass sie exakte Vorgaben für die jeweilige Anwendung erfüllt. Darüber hinaus verfügt ACMS-RTA über eine intuitive Benutzeroberfläche mit automatisierten Bedienungsprofilen, die für bestimmte Anwendungen angepasst werden können. Es bietet auch Prozesskontrollbewertungen (PCRs), um wiederholbare und vorhersehbare Ergebnisse zu gewährleisten. SEMITOOL ACMS-RTA umfasst auch erweiterte Funktionen wie Echtzeit-Alarme und Schnittstellen mit Ertragsanalysesoftware. Dies ermöglicht es dem Computer, den Benutzer auf Änderungen in der Prozessleistung zu erkennen und zu warnen, was eine schnelle Reaktion auf Auffälligkeiten ermöglicht. Das Tool bietet auch detaillierte Protokollierung und Berichterstattung der Ergebnisse, die für die Verfolgung und Optimierung des Prozesses nützlich ist. ACMS-RTA ist eine zuverlässige und effiziente Photolackanlage, die sich ideal für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente eignet. Es bietet eine hervorragende Kontrolle über Parameter wie Temperatur und Photolackkonzentration sowie automatisierte Betriebsprofile für schnelle und genaue Ergebnisse. Darüber hinaus bietet es erweiterte Funktionen wie Alarme und Protokollierungsfunktionen für eine verbesserte Ertragsanalyse. Damit ist SEMITOOL ACMS-RTA die perfekte Wahl für die Herstellung von qualitativ hochwertigen Photolackschichten.
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