Gebraucht SEMITOOL Alpha Raider #9160953 zu verkaufen
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ID: 9160953
Wet processing system, 8"
Model: CP04MNSPD0801
Porous silicon
Process chambers:
Spray
Vapor
Immersion
Electroplating applications
Integrated into single cluster tool
Manuals and schematics
2009 vintage.
SEMITOOL Alpha Raider ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist ein fortschrittliches System, das für eine verbesserte Kompatibilität mit neuen Substraten, Reinigungschemikalien und Resists entwickelt wurde. Das Gerät basiert auf proprietärer Dopingtechnologie und ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Photoresists zu arbeiten. Alpha Raider verwendet ein ambitioniertes mehrstufiges Design, das verschiedene Parameter wie Foliendicke, Gleichmäßigkeit, Oberflächenqualität und Resistverteilung umfasst, die auf bestimmte Anwendungen abgestimmt werden können. Es weist eine Spin-Coat-Maschine zum Resist-Auftragen auf, die mit einem High-Tech-Aspekt-Scanner gekoppelt ist, so dass der Resist auf der gesamten Waferoberfläche gleichmäßig beschichtet wird. Die Substratheizung wird schnell mit einer schnellen Zufuhr von heißem, inertem Gas erreicht. Die Temperatur kann auf die Anforderungen der Anwendung abgestimmt werden. SEMITOOL Alpha Raider ist auch mit einer einzigartigen Dual-Sprühdüse für die Resist-Verarbeitung ausgestattet, die in der Lage ist, schnell eine gleichmäßige Belichtung auf der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Alpha Raider verfügt auch über einen erweiterten Spülzyklus, der die Entfernung von Restresten gewährleistet. Das Werkzeug verfügt auch über eine einzigartige Kombination aus einem Hochgeschwindigkeits-Elektronenstrahl und UV-Laser, der speziell für die In-situ-Musterung entwickelt wurde. Dies ermöglicht die schnelle Diodenmusterung einzelner Substrate. Schließlich verfügt SEMITOOL Alpha Raider über ein ausgeklügeltes O2-plasma Ashing-Asset, das zur präzisen Musterdefinition verwendet wird und eine überlegene Gerät-zu-Gerät-Wiederholbarkeit und überlegene Ausbeute ermöglicht. Abschließend ist Alpha Raider ein fortschrittliches Photoresist-Modell, das eine große Kontrolle über eine Vielzahl von Parametern bietet und eine präzise Strukturierung und Wiederholbarkeit der Geräte ermöglicht. Das fortschrittliche Düsendesign, die präzise Temperaturregelung und die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung ermöglichen Gleichmäßigkeit und verbesserte Erträge, was es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterproduktion macht.
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