Gebraucht SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366 zu verkaufen

SEMITOOL/CALOGIC ST-870 ist eine hochwertige, computergesteuerte Photolackausrüstung für die Verarbeitung von Siliziumwafern in der Halbleiterindustrie. Es bietet überlegene Leistung in Bezug auf Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz. Dieses System wurde entwickelt, um großflächige integrierte Schaltungen (LSIs) und Speicherchips mit bis zu 600um (Mikrometer) -Leitungsgröße zu verarbeiten. CALOGIC ST-870 verfügt über eine vollautomatische Plattform für die Waferbearbeitung mit einer Reihe von Bewegungen, darunter mehrere hundert Millimeter X-Y-Translation, und dreht sich um mehrere Achsen. Es enthält auch spezialisierte Roboterarme und Greifer, die eine reibungslose Manipulation und Belastung des Fotolacks auf dem Wafer ermöglichen. Die Last- und Prozesszyklen sind vollständig automatisiert und vollständig anpassbar, um den spezifischen Bedürfnissen des Kunden gerecht zu werden. Zusätzlich kann die Einheit entweder mit einer stationären oder beweglichen Quelle aufgebaut werden. Die Maschine verfügt über eine fortschrittliche Photolack-Ausgabeeinheit, die präzise und wiederholbare Durchflussraten gewährleistet. Unterstützt wird dies durch einen fortschrittlichen Regler mit einem hochgenauen Linearschrittmotor, der die gleichmäßig dispergierte Folienbeschichtung des Wafers bei der Herstellung gewährleistet. Die Steuerung ermöglicht auch die Anwendung von Erweichungschemikalien und einen Spülzyklus für die Nachbearbeitung. SEMITOOL ST-870 ist mit einem fortschrittlichen, präzise hergestellten Düsenwerkzeug ausgestattet, das das gleichzeitige Aufbringen von Photolack auf beide Seiten eines Wafers ermöglicht. Dieses Gut ermöglicht auch den Einsatz von Vorbehandlungschemikalien für Feuchtigkeits- und Feuchtigkeitskonzentrationen. Darüber hinaus verfügt dieses Modell über einen fortschrittlichen Impulsmodulationsmechanismus, um die Temperatur des Rollenkopfes und seine zugehörige Schaltung zu steuern, wodurch eine ordnungsgemäße Strukturierung der Photolackbeschichtung gewährleistet ist. Das Gerät verfügt auch über ein computergestütztes PRI-System, mit dem der Bediener den gesamten Prozess programmieren und steuern kann. Dieses Gerät ist vollständig programmierbar und kann verwendet werden, um mehrere Optionen und Funktionen aufzurufen, wie variable Geschwindigkeit, Gesamtwaferwiderstand und variable Düsengröße. Darüber hinaus ist diese Maschine auch in der Lage, verschiedene Arten von Glas und keramischen Substraten für die Strukturierung zu handhaben. ST-870 ist für Hochleistungsanwendungen wie In-Line-Fertigung, Wafer-Fertigung, Produktionstest und -messung sowie großflächige Verarbeitung kleiner Chips konzipiert. Es ist ein vollautomatisches Werkzeug, das wiederholbare Genauigkeit und Langzeitleistung gewährleistet.