Gebraucht SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265369 zu verkaufen

SEMITOOL / CALOGIC ST-870
ID: 9265369
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" 2010 vintage.
SEMITOOL/CALOGIC ST-870 ist eine Top-of-the-Line-Photoresist-Ausrüstung für die fortschrittliche Behandlung von Siliziumwafern. Es verwendet einen Hochleistungs-UV-Stepper, um Muster auf den Wafer zu exponieren, der dann mit speziellen Flüssigkeiten und Prozessen auf die Oberfläche übertragen werden kann. CALOGIC ST-870 ist in der Lage, sehr genaue Bilder zu erzeugen, so dass es eine wesentliche Rolle bei der Entwicklung von komplexen und komplizierten Geräten und Schaltungen spielen. Das System-Design von SEMITOOL ST-870 basiert auf einem 5-Achsen-Scan-Tisch, der sowohl Hoch- als auch Niedergeschwindigkeits-Scanning von bis zu 300 Wafern gleichzeitig ermöglicht. Es verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Strahlausrichtungsmonitoren, die sicherstellen, dass der Schrittschalter vor jeder Belichtung korrekt positioniert ist. Dies hilft, die höchste Genauigkeit auch für die komplexesten Bilder zu gewährleisten. ST-870 verwendet fortschrittliche Scan-Algorithmen, um die Genauigkeit des Musterdrucks zu verbessern, wodurch mehr Details zu den Funktionen und eine einheitlichere Abdeckung ermöglicht werden. Diese Technologie trägt auch dazu bei, den Zeitaufwand für die Freilegung des gesamten Wafers zu minimieren und die Produktivität zu erhöhen. Um die höchste Sauberkeit zu erreichen, verfügt SEMITOOL/CALOGIC ST-870 über eine Reihe von Funktionen zur Begrenzung der Partikelverunreinigung. Es verfügt über eine nachgewiesene Fähigkeit, den Feuchtigkeitsgehalt effektiv zu kontrollieren und gleichzeitig hervorragende Lösungsmittelbehälter und chemische Recyclingfunktionen vor Ort anzubieten. Auch der automatische Reinigungsprozess ist außerordentlich leistungsfähig, was dazu beiträgt, das Gerät bei Höchstleistung am Laufen zu halten. Über seine bildgebenden Fähigkeiten hinaus verfügt CALOGIC ST-870 auch über eine komplette Palette von messtechnischen Funktionen und Qualitätssicherungsfunktionen. Dazu gehören die automatisierte Fehlerinspektion und -überprüfung sowie die Möglichkeit, schnell und präzise Teststrukturen für eine schnellere Ertragsbewertung und Fehlerbehebung zu generieren. Zusammenfassend ist SEMITOOL ST-870 eine fortschrittliche Fotolackmaschine, die für die hochpräzise Geräteherstellung entwickelt wurde. Es kombiniert eine Reihe fortschrittlicher Optik- und Scanalgorithmen mit einer Reihe von Reinraum- und Messtechnikfunktionen, um den Bildgebungsprozess schneller, sauberer und genauer als je zuvor zu machen.
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