Gebraucht SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501 zu verkaufen
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ID: 9093501
Weinlese: 1998
Chemical delivery unit
For spray acid tools (SAT Series)
Spray solvent tools (SST Series)
(4) Chemical tanks
(4) Separate chemicals
DI Water return
Supply connections
CDA (clean dry air)
Supply facility requirement: 90 PSI Max
N2 Supply facility requirement: 80 PSI Max
(6) Trebor magnum 610 diaphragm pumps installed:
Software version: CDU-402, 1.03
Full load current: 3A
Largest motor or load: 3 A
Short circuit interrupt: 3500 A
120 VAC, Single phase, 3-wire, 50 / 60 Hz
1998 vintage.
SEMITOOL CDU-C2-01 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Ausstattung von Halbleiterherstellungsanlagen mit effizienter und zuverlässiger Photoresist-Verarbeitung. Es verwendet eine hochmoderne Kombination aus fortschrittlicher Maschinen- und Steuerungstechnik für eine überlegene Photolackverarbeitung. Das System integriert eine hochleistungsfähige, großvolumige, vakuumisierte Ladekammer mit fortschrittlicher Scanrobotereinheit, die volle Mobilität von der Be-/Entladung von Wafern bis zur Bewegung innerhalb der Prozessmodule bietet. Die Automatisierung in Verbindung mit der Kammerreinigungsfähigkeit führt zu einem Brutto- bis Nettodurchsatz von bis zu 20 Wafern pro Stunde. Die Maschine umfasst Funktionen wie eine 21-Zoll-Wafer-Handhabung und ein Spin-Spül-Trocknen-Verfahren für eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung. Ein weiteres Merkmal ist die optimierte Benetzung von Wafern durch einen umgekehrten Spin-Auto-Center-Zyklus, der erstmals für die Photolackverarbeitung erreicht wird. Zusätzlich ist ein erweitertes Selbstdiagnosetool integriert, um den Betrieb auf Höchstleistung zu halten. Darüber hinaus ermöglicht die Eigenständigkeit von CDU-C2-01 auch einen geringen Vermögensbestand. Dies reduziert den Platzbedarf des Modells im Vergleich zu anderen Produktionssystemen. In Bezug auf Sicherheit und Zuverlässigkeit bietet die Ausrüstung eine sichere Umgebung für mehrere Roboter, die parallel arbeiten. Dies reduziert das Risiko und sorgt für Systemstabilität. Alle diese Funktionen kombinieren, um SEMITOOL CDU-C2-01 beispiellose Leistung zu verleihen. Es ist ideal für eine zuverlässige und kostengünstige Fotolackverarbeitung und kann problemlos in jede bestehende Produktionslinie integriert werden.
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