Gebraucht SEMITOOL Cintillio #293653477 zu verkaufen

SEMITOOL Cintillio ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in Halbleiterzoll-, Verpackungs- und Montageprozessen. Cintillio ist ein modulares, automatisiertes System, das einen modulierten Top-Down-Spin Coater, Bottom-Up-Sprayer und eine lasergetriebene Substrat-Handler/Fokussiereinheit umfasst. Seine hochwirksame Photoresist-Beschichtungstechnologie hilft S-I-O-Verbindungen, Geräte und passivierte Strukturen mit Präzisionsgenauigkeit zu erzielen. SEMITOOL Cintillio Spin Coater beginnt mit einer patentierten Korbplattform, die eine schnelle Prozessoptimierung durch Spinnen oder Schaukeln ermöglicht. Es verfügt über eine speziell ausgebildete Auftragskammer, die den Photolack gleichmäßig über die gesamte Substratoberfläche verteilt. Es folgt eine Top-Down-Spin-Coating, die eine gleichmäßige Resistschicht mit hoher Filmintegrität, Prozesswiederholbarkeit und vollflächiger Abdeckung erzeugt. Cintillio enthält auch einen Bottom-up-Sprayer zum Aufbringen von Photolack auf die Rückseite des Substrats. Dadurch lassen sich Resistdicke und Gleichmäßigkeit auf der Rückseite des Substrats während des Auftragsprozesses steuern und wiederholen. Die lasergetriebene Substrathandhabungs-/Fokussiermaschine ist darauf ausgelegt, eine präzise optische Fokussierung nach dem Photoresist-Beschichtungsprozess bereitzustellen. Das Werkzeug fokussiert das Substrat mit wiederholbarer Genauigkeit auf die Registriermarke und ermöglicht so eine wiederholbare Overlay-Genauigkeit. Das Modul verfügt über ein integriertes Multi-Laser-Asset, mit dem mehrere Geräte in einem einzigen Lauf verarbeitet werden können. Das Modell ist in der Lage, Photoresist-Verarbeitung in einer Reihe von Wafer-Größen und Konfigurationen, während die rückverfolgbare Substrat-Verfolgung, Prozesssteuerung und Prozessüberprüfung. SEMITOOL Cintillio ist flexibel, effizient und ermöglicht eine schnelle und einfache Prozessoptimierung. Mit diesem System können Anwender Halbleiterbauelemente sowohl im Labor als auch in der Produktion präzise und reproduzierbar herstellen.