Gebraucht SEMITOOL ECP LT210 Cu #9095392 zu verkaufen

SEMITOOL ECP LT210 Cu
ID: 9095392
Wafergröße: 8"
Cu Plating systems, 8".
SEMITOOL ECP LT210 CU ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Großserienproduktion in der Halbleiterindustrie. Es ist eine integrierte Umgebung für die Verarbeitung einer Vielzahl von Photolackmaterialien. Es bietet eine robuste, automatisierte Plattform für Lithographie-Prozesse und ermöglicht eine präzise Foliendicke und Profilkontrolle. Das System besteht aus einer einzigen Hardwareeinheit, einem lastgesperrten Ladeanschluss und einer Prozesskammer sowie zugehöriger Steuersoftware. Die Prozesskammer enthält ein maßgeschneidertes Heiz-/Kühlmodul für schnelle Back- und Nachbelichtungszyklen. Das Gerät enthält auch eine zentral angeordnete Spritzpistole, die die Belichtung des Fotolackmaterials genau steuert. Die Spritzpistole aerosoliert den Photolack und gibt den Photolack in gleichmäßiger, konsistenter Ablagerung auf die Oberfläche des Wafers aus. Darüber hinaus verfügt ECP LT210 CU über einen programmierbaren Drehmotor und Spannfutter für schnelles und effizientes Be- und Entladen von Substraten sowie ein Touchscreen-Bedienfeld für einfache Bedienung und Diagnose. Die Maschine verfügt auch über automatisierte manuelle Eingaben, die schnelle Rezeptänderungen und vorausschauende Wartungspläne ermöglichen. Insgesamt ist SEMITOOL ECP LT210 CU ein zuverlässiges und effizientes Photolackwerkzeug, das sich ideal für Großserienproduktionen in der Halbleiterindustrie eignet. Die integrierte Umgebung sorgt für eine hochautomatisierte Plattform, die eine konsistente Foliendicke und Profilkontrolle sowie eine präzise Belichtungssteuerung und schnelle Rezepturwechsel gewährleistet. Die Anlage ermöglicht auch ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von Substraten, was eine einfache Bedienung und Wartung ermöglicht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor