Gebraucht SEMITOOL EQ23 #9287636 zu verkaufen

SEMITOOL EQ23 ist ein Photolacksystem, das für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen und anderen mikroelektronischen Bauelementen entwickelt wurde. Es handelt sich um eine automatisierte streckenbasierte Einheit mit einer Reihe von Modulen, die eine Hochdurchsatzlösung für Photoresist und andere Halbleiterherstellungsprozesse bereitstellen sollen. EQ23 Maschine ist modular aufgebaut und besteht aus zwei getrennten Bahnen. Die Primärspur besteht aus vier Prozessmodulen, darunter ein Nassmodul zur Photolackverarbeitung, ein Spinnspültrocknermodul, ein Photolackstreifenmodul und ein Spinnbeschichtungsmodul zum Aufbringen von Photolack. Die zweite Spur besteht aus drei weiteren Modulen: einem Spinätzmodul zum Ätzen, einem sauberen Modul zum Reinigen des Chips nach dem Ätzen und einem Inspektionsmodul zur Sichtprüfung. Das Tool ermöglicht den Anwendern die volle Kontrolle über alle Materialtransport- und Prozessfunktionen sowie über bordeigene Prozessparameteranpassungen. Das Nassmodul enthält einen Satz von Behältern für Photoresist-Chemikalien, einen Applikator für Phtoresist-Pattenning und eine dielektrisch beheizte Duschdüse, um die Gleichmäßigkeit des Resistmusters zu gewährleisten. Das Spinnspültrocknermodul wird verwendet, um den Resist vom Substrat weg zu schleudern, und der verbleibende Resist wird dann automatisch mit dem Bandmodul weggezogen. Das Spin-Coat-Modul soll eine gleichmäßige Abscheidung von Photolack über dem Substrat ermöglichen, während das Spin-Etch-Modul verwendet wird, um unerwünschtes Metall wegzuätzen. Das saubere Modul ist so konzipiert, dass das Substrat nach dem Ätzen gründlich gereinigt wird, während das Inspektionsmodul verwendet wird, um die Qualität der verarbeiteten Werkzeuge visuell zu überprüfen. Die Anlage bietet eine effiziente Produktion mit benutzerfreundlicher Bedienung und zuverlässiger Leistung. Der modulare Aufbau ermöglicht es Benutzern, Module zu modifizieren oder hinzuzufügen, um den Anforderungen einzelner Produktionsprozesse gerecht zu werden, und die integrierten Prozessparameteranpassungen bieten eine gewisse Flexibilität, um den Prozess zu optimieren. SEMITOOL EQ23 bietet die notwendigen Lösungen für Anwender, die ein automatisiertes Photolackmodell für die Präzisionsproduktion von Halbleiterbauelementen suchen.