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SEMITOOL Equinox
ID: 293590461
Electroplating system.
SEMITOOL Equinox ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Produktion oder Prototyping einer Vielzahl von Technologien weit verbreitet ist. Es kombiniert die Präzision der traditionellen Photolithographie mit fortschrittlicher Automatisierung, wodurch eine Reihe komplexer Merkmale und Prozesse schnell und präzise hergestellt werden können. Das Photolacksystem selbst besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Die Hauptkomponenten sind die Lithographie-Plattform, die Photolackschicht, ein automatisierter Maskenausrichter und ein Timer-Modul. Das Grundprinzip des Betriebs besteht darin, eine Photolackschicht auf die Lithographieplattform aufzubringen und zu haften, dann mit dem automatisierten Maskenausrichter das Maskenmuster exakt auf die Photolackschicht zu positionieren und zu belichten. Das Timermodul stellt dann die Belichtungszeit ein, so daß das gewünschte Muster auf die Photolackschicht aufgedruckt wird. Die Photolackeinheit weist gegenüber herkömmlichen Lithographieverfahren mehrere Vorteile auf. Zum Beispiel ist die Genauigkeit der Maschine viel besser, so dass die Auflösung von sehr kleinen Funktionen mit hoher Präzision, während die automatisierte Maske Ausrichter macht die Positionierung der Maske Schichten extrem präzise und viel schneller als manuelle Methoden. Darüber hinaus bietet das Timermodul eine präzise Steuerung der Belichtungszeit mit einer Auflösung von hunderten Millisekunden und ist in der Lage, den Lithographieprozess an bestimmten Stellen während der Belichtungszeit automatisch zu stoppen und neu zu starten. Insgesamt ist Equinox ein leistungsfähiges Photolackwerkzeug, das alle notwendigen Komponenten für eine präzise und effiziente Produktion komplexer Geräte bereitstellt. Es kombiniert manuelle und automatisierte Prozesse, um in einem Bruchteil der Zeit überlegene Ergebnisse zu erzielen, und ist ein Must-Have-Tool für alle, die in die Welt der Halbleiterbauelementproduktion einsteigen möchten.
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