Gebraucht SEMITOOL Equinox #293648582 zu verkaufen
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ID: 293648582
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Electroplating system, 6"
Non-functional
Single wafer process head design
Material: Ni sulfamate plating (tank 1) and gold sulfite (tank 2)
Gold sulfite is a non-cyanide solution
Fountain plater with (2) Separate plating bath tanks and (2) SRD Heads
(4) Heads
Input cassette on left nest
Output cassette on right nest
Robot connection, non-functional
Plating cell power supply
CP2 Head, non-functional
(2) SRD Chambers
(2) Plating chambers
DYNATRONIX PMC 102/1PR-20-30XR Power supply (P/N: 990-0296-212)
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 40 A, 3 Phase
2010 vintage.
SEMITOOL Equinox ist eine Photolackausrüstung für die Halbleiterherstellung. Photolacksysteme werden bei der Halbleiterherstellung verwendet, um Schichten aus Halbleitermaterialien auf Siliziumscheiben zu erzeugen. Das Equinox-System verfügt über automatisierte Prozesse, die dazu beitragen, die Produktion zu beschleunigen und die benötigte menschliche Arbeit zu reduzieren. SEMITOOL Equinox ist in der Lage, vier-Zoll oder sechs-Zoll-Wafer mit bis zu 300mm pro Stunde zu verarbeiten. Es verfügt über ein offenes Plattformdesign, mit dem Benutzer benutzerdefinierte Software-Algorithmen schnell und einfach in ihre Verarbeitungssteuerungsschemata integrieren können. Seine Softwareoptionen unterstützen fortschrittliche photolithographische Werkzeuge und Techniken wie Schritt und Wiederholung, Bildunschärfe und erweiterte Ausrichtung. Equinox verfügt über eine robuste, zweisperrige Waferübertragungseinheit. Dadurch wird eine genaue Ausrichtung zwischen dem Wafer und seiner zugehörigen Maske erreicht. Es hat auch ein zweistufiges Spinnfutter mit integrierter Zentrierfähigkeit für eine bessere Wafer-Handhabung. SEMITOOL Equinox ist auch auf Zuverlässigkeit und Robustheit ausgelegt, mit seinem Rahmen aus hochbelastbarem Aluminium und korrosionsbeständigen Komponenten. Die Software der Maschine wurde entwickelt, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es läuft auf einer stabilen Solid-State-Betriebsplattform und bietet Echtzeit-Prozessüberwachung und -analyse. Die Software bietet auch bis zu fünf benutzerbasierte Steuerungsschemata und bietet auch Makrodateigenerierung und -ausführung. Die Heizstufen von Equinox bieten eine präzise Temperaturregelung und gewährleisten eine schnelle und genaue Musterbildgebung. Das Werkzeug verfügt auch über einen einstellbaren Schlitz, so dass Benutzer ihre Musterung anpassen können. SEMITOOL Equinox unterstützt Standardmusteralgorithmen sowie benutzerdefinierte Skripte und bietet die Möglichkeit, Belichtungen an die Bedürfnisse des Kunden anzupassen. Das Asset ist auch so konzipiert, dass es maximale Prozesskontrolle und Einheitlichkeit bietet. Es bietet einen separaten Controller für jedes Element des Prozesses, so dass Benutzer alle Prozessparameter einfach überwachen und anpassen können. Equinox verfügt auch über ein erweitertes Caching-Modell, um Entwicklungszeiten zu minimieren und die Werkzeugauslastung zu verbessern. Abschließend ist SEMITOOL Equinox ein zuverlässiges und kompaktes Photolacksystem, ideal für die Hochdurchsatz-Halbleiterherstellung. Die automatisierten Prozesse, die Präzisionstemperaturregelung, die robuste Waferübertragungseinheit und die erweiterten Musteroptionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für alle Anforderungen der Chipherstellung.
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