Gebraucht SEMITOOL Equinox #9023046 zu verkaufen

SEMITOOL Equinox ist eine Photoresist-Ausrüstung für die präzise Anwendung von Resistmaterialien und Ätzprozessen. Es ist ein kostengünstiges und sehr robustes System, das entwickelt wurde, um die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Equinox-Einheit kann eine breite Palette von Prozessen verarbeiten, einschließlich Nassätzen, Trockenätzen, Sputtern und chemisch-mechanischem Polieren (CMP). Die Maschine ist für einzelne Waferanwendungen konzipiert und bietet eine hohe Waferbearbeitungsgenauigkeit. Es hat auch Eigenschaften wie niedriger Substratverbrauch und niedrige Betriebskosten. Das Tool ist mit einem Onboard-Controller ausgestattet, der fortschrittliche Diagnose-, Rezept- und Rezepttests sowie eine automatische Prozessleistungsüberwachung unterstützt. Es bietet auch eine hohe Präzision, und seine selektiven Ätzeigenschaften sorgen dafür, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen. Die Anlage besteht aus vier unabhängigen Kammern und bietet eine getrennte Modellumgebung, um Kreuzkontamination und versehentliches Einbringen von Partikeln in die Prozesskammer zu vermeiden. Das spart Zeit, Energie und verbessert die Prozessausbeute. Der Waferhalter der Ausrüstung ermöglicht eine einfache Substratbeladung, Entladung und Wafertransport, und seine Kammerkonstruktion erleichtert die Waferzentrierung. Es verfügt auch über ein Feld-Ebene Drift-Monitoring-System, das die Genauigkeit weiter verbessert. SEMITOOL Equinox Einheit hat zwei Betriebsarten: manuell oder automatisiert. Der manuelle Modus bietet in der Regel einen geringeren Durchsatz, ermöglicht aber eine bessere Kontrolle der Prozessparameter. Der automatisierte Modus bietet einen höheren Durchsatz bei geringeren Maschinenkosten, erfordert jedoch ein höheres Maß an Prozesskontrolle und Know-how. Neben seiner ausgezeichneten Verarbeitungsfähigkeit, Equinox Tool kommt mit einer Vielzahl von Zubehör und Upgrade-Optionen. Dazu gehören Spinner, Waferbestrahlungssysteme, erweiterte Ionenquellmodule, erweiterte Back-End-Module und eine Vielzahl von Softwareoptionen, die die Genauigkeit der Prozesse verbessern sollen. Abschließend ist SEMITOOL Equinox Asset ein fortschrittliches Photoresist-Modell, das Herstellern helfen soll, hohe Leistungsniveaus zu erzielen und gleichzeitig Kosten und Energieverbrauch minimal zu halten. Seine breite Palette an Funktionen stellt sicher, dass Benutzer die beste Lösung für ihre spezifischen Anwendungsbedürfnisse finden können.