Gebraucht SEMITOOL Equinox #9023047 zu verkaufen
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ID: 9023047
Wafergröße: 6"
Etcher, 6"
Manual copper electroless
Single cup system
(2) Chambers
(2) Tanks.
SEMITOOL Equinox ist eine Photoresist-Stripping-Ausrüstung, die für den Einsatz in fortschrittlichen Mikrofabrikationsprozessen entwickelt wurde. Es arbeitet, indem es eine intensive Dosis von ultraviolettem Licht auf die Photolackschicht aufbringt, wodurch es in bestimmten Bereichen zerfällt. Durch Steuerung der Lichtdosis und Variation der Frequenz kann die Form des belichteten Bereichs manipuliert werden, um spezifische Muster zu erzeugen. Das System ist für Wafergrößen bis 150 mm mit einer Auflösung von bis zu 1 µm ausgelegt. Das Gerät dient zum schnellen Strippen aller Arten von Photoresists, die in der Mikroelektronik eingesetzt werden. Dazu gehören saure und alkalische Photoresists, Deep-UV-Photoresists und andere Spezial-Photoresists. Die Maschine ist auch in der Lage, die Feinauflösung von Photolack aus kleinen Merkmalen wie Speicherschaltungen, Logikeinrichtungen und anderen komplexen Strukturen. Equinox ist so konzipiert, dass es exil und anpassbar ist, sodass es auf die Anforderungen einer Vielzahl von Substraten zugeschnitten werden kann. Es verfügt über ein digitales Steuerungstool mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche. Dadurch lassen sich Parameter einfach einstellen und anpassen, was die Prozesskonsistenz erheblich verbessert. Die fortschrittliche Entwicklung des Asset sorgt zudem für eine möglichst kurze Prozesszeit, die zur Verbesserung des Durchsatzes beiträgt. Es reduziert auch die Menge an Abfallmaterial während des Photoresist-Strippvorgangs. Das Modell arbeitet auch bei niedriger Temperatur, was das Risiko von Schäden an empfindlichen Teilen reduziert. SEMITOOL Equinox ist mit Sicherheit im Auge, mit automatischer Abschaltung und Verriegelungen an Ort und Stelle entworfen, um versehentliche Exposition zu verhindern. Darüber hinaus verfügt es über eine Klasse 1 Laserausrüstung mit sekundären und tertiären Sicherheitsverriegelungen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Mit seiner überlegenen Leistung, Zuverlässigkeit und Sicherheit ist Equinox das perfekte Werkzeug für eine breite Palette von Photoresist-Stripping-Anwendungen. Von Speicherschaltungen über Logikeinrichtungen bis hin zu anderen komplexen Strukturen ist SEMITOOL Equinox das bevorzugte Werkzeug, um professionelle Ergebnisse zu erzielen.
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