Gebraucht SEMITOOL Equinox #9227332 zu verkaufen
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ID: 9227332
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
Plating system, 6"
(4) Plating chambers
(2) Preclean / SRD Chambers
GENMARK Radial robot
Tank ultrasonic level sensor
ARU Interface
Levitronix pumps
Surpass flow meters
PALL Filter housings, 10" (Plating cells)
PALL Filter, 4" (Prewet tank)
Sample port
Fire suppression system
Chemical bulk fill
DYNATRONIX Pro series plating power supply (4-Cells)
Tank heat exchange connection
Power requirements: 208 VAC, 80 A, 50/60 Hz
2005 vintage.
SEMITOOL Equinox ist eine Photolackausrüstung, die von einem führenden Hersteller von Halbleiterausrüstungen entwickelt und entwickelt wurde, um die Herstellung von Photolackmaterial mit großer Präzision und Genauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine verwendet lasergestützte Ätztechnologie, um ihre Topographie hinzuzufügen oder zu ändern. Diese Photoresist-Technik wird auch als „Direct Write“ bezeichnet, da diese Maschine detaillierte Schichten komplizierter Formen herstellen kann. Equinox-System verfügt über eine hochauflösende Laserquelle, die verwendet wird, um winzige Laser-Mikropatterns auf der Oberfläche des Photolackmaterials zu produzieren. Dieser Laser kann bei jeder Messung selbstjustiert werden, um sicherzustellen, dass alle detaillierten Strukturen präzise platziert werden. Mit dieser Vorrichtung kann der Anwender Photolackschichten von rechteckigen Siliziumscheiben bis hin zu geformten Substraten präzise auf Scheiben unterschiedlicher Form und Größe strukturieren. SEMITOOL Equinox Photoresist-Einheit enthält leistungsfähige Bildgebungs- und Analysesoftware. Diese Software ermöglicht eine Online-Überwachung des Ätzprozesses, so dass Benutzer die Positionierung des Lasers und anderer Parameter anpassen können, um eine bessere Qualität der Ätzung zu erreichen. Mit seinem leistungsstarken Bildverarbeitungsmodul können Benutzer das geätzte Ergebnis auch in Echtzeit visualisieren. Da die Equinox-Fotoresistmaschine für den Einsatz in einer Produktionsumgebung ausgelegt ist, ist sie in der Lage, präzise und äußerst zuverlässig zu arbeiten. Es kann Substrate in Batch- oder Single-Process-Konfiguration verarbeiten und auch in einer extrem anspruchsvollen Umgebung arbeiten. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über intelligente Sensoren, um Ausfälle während der Fertigung zu erkennen. Schließlich ist SEMITOOL Equinox Photoresist Asset so konzipiert, dass es sicher und kostengünstig ist. Dies wird durch den Einsatz modernster Sicherheitstechnologien und der wirtschaftlichsten Ansätze zur Bearbeitung von Photolackmaterial erreicht. Die automatisierten und effizienten Prozesse garantieren konsistente und branchenführende Ergebnisse. Das Modell ist auch für den Einsatz auf einer Vielzahl von Substraten geeignet und bietet gleichzeitig das am besten geeignete Preis-Leistungs-Verhältnis.
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