Gebraucht SEMITOOL Equinox #9229811 zu verkaufen

SEMITOOL Equinox ist eine leistungsstarke Mehrkammer-Photoresist-Ausrüstung, die speziell für Plasmaätz-, PVD-, Band- und Reinigungsprozesse entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um den Anforderungen der hochmodernen Mikroelektronik-Industrie gerecht zu werden und bietet hervorragende Dünnschichtverarbeitungsfunktionen, damit die Hersteller wettbewerbsfähig bleiben können. Equinox ist ein vollständig integriertes System, das die Herstellung von ultrafeinen Funktionen ermöglicht und somit ideal für fortschrittliche Techniken zur Herstellung von Photo- und MEMS-Geräten geeignet ist. Es verfügt über drei unabhängige Prozesskammern mit einer Gesamtkapazität von 1.000 Litern. Die Kammern können bei einem Druckbereich von 0,25 bis 50 Torr und Temperaturen bis 300 ° C arbeiten. Jede Kammer kann mit verschiedenen Kombinationen von Schlitz- und Stiftphotomasken, Schlitzmasken und schattenbearbeiteten Platten ausgestattet werden, die eine präzise Strukturierung für alle Dünnfilm-, Ätz- und Streifenprozesse ermöglichen. Die drei unabhängigen Prozesskammern arbeiten mit der speziell entwickelten SEMITOOL Equinox Process Control Unit * zusammen. Diese intelligente Maschine kann jede Kammer einzeln überwachen und bei Bedarf Prozessanpassungen in Echtzeit vornehmen. Darüber hinaus kann Equinox Process Control Tool Asset-Diagnose, Wafer-Tracking, Rezeptsteuerung und statistische Prozesskontrolle durchführen, um eine optimale Effizienz und Leistung zu gewährleisten. SEMITOOL Equinox ist mit einem einzigartigen mehrstufigen Endpunktdetektionsmodell ausgestattet, das es dem Bediener ermöglicht, den Prozess während der Exposition gegenüber Plasmaätz-, PVD- und Nassätzoperationen zu überwachen und zu steuern. Mit der mehrstufigen Endpunktdetektion können Hersteller das Ätzprofil genau überwachen und bestimmen, wann die gewünschten Ergebnisse erzielt wurden. Equinox bietet überlegene Leistung des Photoresistsystems und eine unübertroffene Qualitätskontrolle. Diese fortschrittliche Einheit vereinfacht den Herstellungsprozess und ermöglicht es Herstellern, komplexe Strukturen mit überlegener Genauigkeit und Geschwindigkeit zu erstellen. SEMITOOL Equinox ist mit seinem geringen Platzbedarf, dem flexiblen Design und der umfassenden Prozesskontrolle die ideale Wahl für eine präzise und effiziente Fotolackverarbeitung.