Gebraucht SEMITOOL Equinox #9243044 zu verkaufen
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ID: 9243044
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Etcher, 8"
Part number: E0212PMPLTNGETCH200
Process: Horizontal etch
(2) Chambers:
Chamber 1: Clean
Chamber 2: Horizontal chemical etch
SMIF System: Manual single wafer load
2000 vintage.
SEMITOOL Equinox ist eine Photoresist-Ausrüstung für die effiziente Handhabung und Behandlung von Photoresist für die Halbleiterindustrie. Es ist eine vollständig integrierte Lösung, die eine zuverlässige Plattform für Rezeptentwicklung und Automatisierung bietet. Das System verfügt über ein End-to-End-Photoresist-Verfahren, das Vorbehandlung, mehrere Bäckermodule, Beschichtung, Belichtung, Entwicklung, Backen und Nachbehandlung umfasst. Das Gerät verfügt über eine automatische Linienausstattung, die es ermöglicht, sich nahtlos in eine werkseitige Automatisierungssteuerungsumgebung zu integrieren. Es kann konfiguriert werden, Waferträger von Frontend-Bearbeitungseinrichtungen aufzunehmen und in den nächsten Prozessschritt auszugeben. Die Maschine ist für den Betrieb mit einer breiten Palette von Photoresists konzipiert und bewältigt erfolgreich eine Vielzahl von Beschichtungs-, Belichtungs-, Entwicklungs- und Backprozessen. Das Tool ist mit fortschrittlicher Steuerungssoftware ausgestattet, um eine präzise Kontrolle über Kammern, Module, Prozesseingänge und Ausgabe zu ermöglichen. Jedes Modul kann über die proprietäre Steuerungssoftware unabhängig gesteuert werden. Die Software ermöglicht die Entwicklung und Speicherung von Prozessrezepten für eine Vielzahl von Photoresist-Anwendungen. Das Asset besteht aus einfach zu bedienenden Touchscreen-Bedienelementen und einem 10,4-Zoll-TFT-LCD-Display, das eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -anpassung ermöglicht. Equinox ist auch mit einer Bordkamera zur visuellen Inspektion und Überprüfung ausgestattet. Es ist auch mit einer Temperatursonde für genaue Temperaturüberwachung und -kontrolle ausgestattet. Das Modell ist mit umfangreichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich der Einbindung einer patentierten Sicherheitsverriegelung, die ein versehentliches Betätigen des Systems beim Öffnen von Türen verhindert. Darüber hinaus verfügt es über eine Schutzschalter-Sicherheitseinheit, die bei einem Fehler oder Ausfall automatisch den Strom an die Maschine abschaltet. Der gesamte Werkzeugbetrieb wird von einem ständig laufenden Hostcomputer überwacht. Insgesamt ist SEMITOOL Equinox ein fortschrittliches Photoresist-Asset, das für einen effizienten und zuverlässigen Betrieb entwickelt wurde. Es bietet eine integrierte Plattform zur Entwicklung von Photoresist-Rezepten und Automatisierung sowie fortschrittliche Steuerungssoftware zur präzisen Prozessüberwachung und -anpassung. Darüber hinaus ist es mit mehreren Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten.
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