Gebraucht SEMITOOL / M-TECH ST-870 #9265364 zu verkaufen

SEMITOOL / M-TECH ST-870
ID: 9265364
Wafergröße: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL/M-TECH ST-870 Photoresist-Ausrüstung ist einer der fortschrittlichsten Spin Coater auf dem Markt, mit der Fähigkeit, kostengünstige, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern. M-TECH ST-870 wurde entwickelt, um eine präzise, gleichmäßige Filmdicke bei der Beschichtung einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Quarz, Glas und Galliumarsenid zu gewährleisten. Es bietet ein erweitertes Steuerungspaket mit einer Vielzahl von eingebauten Automatisierungen. Das System ermöglicht es Benutzern, Motoreinstellungen zu steuern, Teilegewichtsprofile festzulegen und kritische Substratparameter beizubehalten. SEMITOOL ST-870 verfügt über ein Spin-Head-Frame-Design, das aus drei Hauptkomponenten besteht: die Edelstahl-Spin-Frame-Arbeit, die Rahmenbaugruppe und den optionalen 'Vakuum-Frame'. Diese Konstruktion ermöglicht eine sichere Befestigung des Substrats und sorgt für Genauigkeit und Konsistenz beim Beschichten. Die Edelstahlkonstruktion, kombiniert mit einer korrosionsbeständigen Materialausstattung, sorgen für zusätzliche Haltbarkeit. Die Rahmenbaugruppe hält den Drehkopf während der Beschichtung fest. Es verfügt auch über automatische winkelverstellbare Arme, mit denen eine breite Palette von Substratwinkeln gesprüht werden kann, ohne dass die Drehrichtung geändert werden muss. ST-870 verfügt über temperaturgeregelte beheizte Thermalbäder sowie einen Zwangsluftkühlprozess für verbesserte Leistung. Diese Einheit kann verwendet werden, um einzelne oder mehrere Substrate mit bis zu 2000 U/min zu beschichten, wodurch jedes Mal ein einheitlicher, homogener Film gewährleistet wird. Das Motormoment ist von Anfahrdrehzahlen auf bis zu 33 G-cm einstellbar. Motorverstellbare Autopromissionen ermöglichen es Benutzern, sowohl Anfangszykluszeit als auch Endzeit für fortgesetzte Zyklusläufe einzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Spülmöglichkeit die Nachentwicklung kontaminierter Substrate mit minimalem Aufwand. SEMITOOL/M-TECH ST-870 verfügt über eine Vielzahl anwendungsspezifischer Verfahren wie Katalysatorbeschichtung, Molecularlayer Deposition (MLD) und Parylen- CSD™ für einen überlegenen lichtempfindlichen Geräteschutz. Es verfügt auch über eine Diagnosemaschine mit mehreren einstellbaren Parametern zur Optimierung der Leistung und Reduzierung der Zykluszeit. Das Tool umfasst ein Asset Control Board, das mit dem zentralen Datenverwaltungsmodell verbunden werden kann und eine einfachere und effizientere Steuerung des Prozesses ermöglicht. M-TECH ST-870 ist mit einer integrierten Betriebs- und Prozessmanagement-Überwachungs- und Dokumentensteuerungssuite für verbesserte Ausstattungssicherheit ausgestattet. Zusammenfassend ist SEMITOOL ST-870 Photoresist Equipment eines der fortschrittlichsten Spin Coater auf dem Markt heute, bietet eine Hochleistungslösung für die Beschichtung einer Vielzahl von Substraten bei gleichmäßiger Filmdicke. Es ist für überlegene Zuverlässigkeit konzipiert und verfügt über temperaturgesteuerte Bäder und einen Zwangsluftkühlprozess für mehr Leistung. ST-870 ist sehr anpassbar, mit zahlreichen anwendungsspezifischen Prozessen und einstellbaren Parametern zur Leistungsoptimierung. Darüber hinaus ist es mit einer integrierten Betriebs- und Prozessmanagement-Überwachungssoftware für ein verbessertes Datenmanagement ausgestattet.
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