Gebraucht SEMITOOL Millennium #9207932 zu verkaufen

SEMITOOL Millennium ist eine Photoresist-Ausrüstung, die den hochpräzisen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist in der Lage, sehr dünne und hochgleichmäßige geätzte Muster auf Halbleitern für eine Vielzahl von Zwecken zu erzeugen, von der Schaffung tiefer Vias bis zur Bildung extrem feiner Linien und anderer Formen. Das System nutzt ein chemisch inhibiertes Verfahren, um eine geringe Anzahl von Defekten und eine hohe Konsistenz der geätzten Muster auch bei unterschiedlichen Substraten und Prozessbedingungen zu gewährleisten. Dieses Gerät ist sehr vielseitig und kann für eine Vielzahl von Substraten und Fotolacken angepasst werden, um die Bedürfnisse des Kunden optimal zu erfüllen. Millennium verwendet einen dreistufigen Ansatz für den Photoresist-Ätzprozess. Die erste Stufe besteht aus einem Photolackbeschichtungsverfahren zur Erzeugung einer dünnen, gleichmäßigen Resistschicht auf der Oberfläche des Substrats. Zweitens wird Profilometrie verwendet, um die gewünschte Ätztiefe zu bestimmen. Diese Information wird dann der dritten Stufe zugeführt: einer spezialisierten, computergesteuerten Ätzmaschine, die die eigentliche Fotolackmusterung durchführt. Alle drei Stufen sind auf die höchste Auflösung ausgelegt, möglichst einheitliche Ätzmuster. SEMITOOL Millennium Werkzeug ist auch mit einer Reihe von Werkzeugen ausgestattet, um die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Zu diesen Tools gehört ein AFR-Asset (Automated Feature Recognition), das sicherstellt, dass der Prozess in jedem Schritt optimiert wird. Dieses Modell spart Zeit und beseitigt Abweichungen zwischen dem Ätzprozess und den gewünschten Mustern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein hochauflösendes (HR) -Werkzeug, das hochgenaue Messungen der Ätztiefe ermöglicht. Dies ist insbesondere dann sinnvoll, wenn Ätztiefen von bis zu 50 µm erreicht werden müssen. Schließlich verfügt das System auch über eine Fehlererkennungseinheit, die es ermöglicht, potentielle Fehler, wie eine unsachgemäße Beladung des Fotolacks, zu erkennen, die zu Ätzausfällen führen könnten. Abschließend ist Millennium eine fortschrittliche Photolackmaschine, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es verwendet einen chemisch gehemmten Ätzprozess für gleichmäßiges und fehlerfreies Ätzen bei unterschiedlichen Substraten und Prozessbedingungen und Werkzeuge, um höchste Genauigkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ist es sehr vielseitig und kann an die Bedürfnisse des Kunden angepasst werden.