Gebraucht SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645 zu verkaufen
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SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU ist eine Photolackausrüstung, die speziell für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System kombiniert Lichtquelle, Prozesskammer und Temperiersysteme in einer einzigen Lösung. Es verfügt außerdem über ein lichtemittierendes Array (LEA) in der Verarbeitungskammer, das eine verbesserte Lichtabdeckung über weite Substrate ermöglicht. Die Lichtquelle basiert auf einem direkt gekoppelten Leuchtdioden (LED) -Array, das eine hohe Intensität, schmales Spektrum, UV-Bestrahlung (von 250 - 405nm) unter Beibehaltung eines Temperaturprofils von bis zu 149 ° C erzeugt. Dadurch wird sichergestellt, dass Materialien gleichmäßig und gleichmäßig behandelt werden. Zusätzlich kann die Lichtpunktgröße an Substrate unterschiedlicher Größe angepasst werden. Die Prozesskammer ist abgedichtet und druckbeaufschlagt, mit einem integrierten Wärmetauscher zur Aufrechterhaltung einheitlicher Substrattemperaturen. Diese Kammer ist auch mit einem Vakuumelement ausgestattet, das den Einsatz von Inertgas ermöglicht, um atmosphärische Verarbeitungsumgebungen zu schaffen. Die Temperiereinheit besteht aus drei unabhängigen Temperierelementen: einer Keramikheizung, einer elektrisch beheizten Platte (EHP) und einer Kochplatte. Der Keramikheizer hält die gewünschte Temperatur des Substrats, während EHP und Heizplatte zur Steuerung des Temperaturprofils der Prozesskammer verwendet werden. OEM SAT 2081D2PCCU Photoresist Maschine ist für die ultraschnelle Verarbeitung konzipiert, mit einer maximalen Zykluszeit von zwei Sekunden. Es verfügt auch über Antireflexionstechnologie und fortschrittliche Substrathandhabung, so dass es gut für die Schaffung von komplizierten Geräten geeignet. Die flexible Leistungseinstellung und sichere Vorwärtslichtabschirmung des Werkzeugs sorgen für eine gleichmäßige Belichtung von Substraten und reduzieren die Fehlbearbeitung aufgrund von Kanteneffekten. Darüber hinaus verfügt das Asset über überlegene Wiederholbarkeit und Gesamtleistung, so dass es auch unter den strengsten industriellen Bedingungen sehr zuverlässig ist. Insgesamt ist SEMITOOL SAT 2081D2PCCU ein gut entwickeltes Photolackmodell, das speziell für die schnelle und präzise Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es bietet zuverlässige Leistung bei effektiver Verwaltung von Temperaturschwankungen in der Verarbeitungsumgebung. Es ist in der Lage, eine Reihe von Substraten zu handhaben, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Halbleiterbauelementproduktion.
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