Gebraucht SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400646 zu verkaufen

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU ist eine Photolackausrüstung, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Das System besteht aus einer hochpräzisen und hochvakuumhaltigen Dünnschichtabscheidungsquelle, einem Reaktionsrohr und einer Hochvakuum-Prozesskammer. Die Dünnschichtabscheidungsquelle ist eine 6-achsige, schnell gepulste Gleichstrom-Elektronenkanone, die zur Abscheidung verschiedener Metalle und Isolatoren, wie Titannitrid, direkt auf die Waferoberfläche ausgelegt ist. Es ist auch in der Lage, andere Materialien, wie Siliziumdioxid, in das Substrat abzuscheiden. Das Reaktionsrohr ist eine Drehvorrichtung, die eine Photoresistlösung mit hoher Strömungsgeschwindigkeit zirkuliert. Mit diesem Verfahren werden bestimmte Teile des Substrats in Photolackmasken umgewandelt. Die Prozesskammer ist eine große Edelstahl-Vakuumkammer, in der die Dünnschichtabscheidungsquelle und das Reaktionsrohr untergebracht sind. Es ist in der Lage, ein Vakuumniveau im Bereich von 10-7 bis 10-8 Torr zu halten. Zusätzlich zu den Hardwarekomponenten enthält das Gerät ein proprietäres Softwarepaket, mit dem der Benutzer Rezepte erstellen kann, die auf die spezifischen Abscheide- und Photoresistprozesse zugeschnitten sind. Die Rezepturen ermöglichen eine genaue Steuerung der Maschinenparameter, wie die Dicke des abgeschiedenen Materials, die Geschwindigkeit, mit der der Photolack durch das Reaktionsrohr strömt, den Winkel, unter dem die Dünnschichtabscheidungsquelle positioniert ist, und den Vakuumdruck in der Prozesskammer. Das Werkzeug ist für die Chargenbearbeitung ausgelegt und eignet sich für Halbleiterhersteller aller Größen. Es bietet einen hohen Durchsatz, eine hervorragende Prozesskontrolle und erhebliche Kosten- und Zeiteinsparungen. Darüber hinaus ist der Vermögenswert sehr zuverlässig, mit mittlerer Zeit zwischen den Ausfallraten über 99,9%. Dadurch wird die Sicherheit und Effizienz jedes Prozesses gewährleistet und die häufige Wartung entfällt. OEM SAT 2081D2PCCU ist ein robustes, kostengünstiges Photolackmodell, ideal für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen. Seine Vielzahl an Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einer führenden Wahl für Kunden, die ihre Photolithographie-Prozesse optimieren möchten.